Pemanfaatan debit RF

1. Mangpaat pikeun nyembur sareng ngalapis pilem insulasi. Parobahan polaritas éléktroda anu gancang tiasa dianggo pikeun nyembur langsung target insulasi pikeun kéngingkeun pilem insulasi. Upami sumber daya DC dianggo pikeun nyembur sareng neundeun pilem insulasi, pilem insulasi bakal ngahalangan ion positif asup ka katoda, ngabentuk lapisan akumulasi ion positif, anu rentan ka karusakan sareng kaduruk. Saatos neundeun pilem insulasi dina anoda, éléktron diblokir asup ka anoda, anu ngahasilkeun fenomena anoda ngaleungit. Nalika nganggo sumber daya RF pikeun ngalapis pilem insulasi, kusabab polaritas éléktroda anu silih genti, muatan positif anu akumulasi dina katoda dina satengah siklus kahiji bakal dinetralkeun ku éléktron dina satengah siklus kadua, sareng éléktron anu akumulasi dina anoda bakal dinetralkeun ku ion positif. Prosés sabalikna dina satengah siklus kadua tiasa ngaleungitkeun akumulasi muatan dina éléktroda, sareng prosés ngaleupaskeun tiasa lumangsung sacara normal.

2. Éléktroda frékuénsi luhur ngahasilkeun bias diri. Dina alat RF kalayan struktur éléktroda datar, éléktroda frékuénsi luhur dina sirkuit anu nganggo cocooan kopling kapasitif ngahasilkeun tegangan bias diri. Béda anu ageung antara kecepatan migrasi éléktron sareng kecepatan migrasi ion dina ngaleupaskeun ngamungkinkeun éléktron pikeun ngahontal kecepatan gerakan anu langkung ageung dina waktos anu ditangtukeun, sedengkeun kecepatan ion anu langkung laun nyababkeun akumulasi. Éléktroda frékuénsi luhur aya dina poténsial négatif pikeun kalolobaan unggal siklus, anu ngahasilkeun tegangan négatif dina medan, anu mangrupikeun fénoména bias diri tina éléktroda frékuénsi luhur.

Bias diri anu dihasilkeun ku éléktroda debit RF ngagancangkeun pamboman ion éléktroda katoda pikeun terus-terusan ngaluarkeun éléktron Sekundér pikeun ngajaga prosés debit, sareng bias diri maénkeun peran anu sami sareng turunna katoda dina debit cahaya DC. Sanaos nganggo catu daya RF, debitna tiasa stabil kusabab tegangan bias diri anu dihasilkeun ku éléktroda frékuénsi luhur ngahontal 500-1000V.

3. Pelepasan frékuénsi radio maénkeun peran penting dina pelepasan cahaya tekanan atmosfir sareng pelepasan cahaya panghalang dielektrik anu diwanohkeun engké.