1. Avantageux pour la pulvérisation cathodique et le dépôt de films isolants. L'inversion rapide de la polarité des électrodes permet de pulvériser directement des cibles isolantes pour obtenir des films isolants. Si une source de courant continu est utilisée pour la pulvérisation et le dépôt du film isolant, ce dernier empêche les ions positifs de pénétrer dans la cathode, formant une couche d'accumulation d'ions positifs, susceptible de provoquer un claquage et une inflammation. Après le dépôt d'un film isolant sur l'anode, les électrons ne peuvent plus y accéder, ce qui entraîne la disparition de l'anode. En revanche, lors du dépôt du film isolant avec une source de radiofréquence, l'alternance de polarité des électrodes permet de neutraliser les charges positives accumulées sur la cathode durant la première moitié du cycle par les électrons durant la seconde moitié, et inversement. Ce processus inverse, durant la seconde moitié du cycle, élimine l'accumulation de charges sur l'électrode et permet un déroulement normal de la décharge.
2. Les électrodes haute fréquence génèrent une polarisation automatique. Dans un dispositif RF à électrodes planes, les électrodes haute fréquence du circuit, couplées par capacité, génèrent une tension de polarisation automatique. La différence importante entre la vitesse de migration des électrons et celle des ions lors de la décharge permet aux électrons d'atteindre une vitesse de déplacement supérieure à un instant donné, tandis que la vitesse plus faible des ions entraîne leur accumulation. L'électrode haute fréquence se trouve à un potentiel négatif pendant la majeure partie de chaque cycle, ce qui induit une tension négative à sa surface : c'est le phénomène de polarisation automatique de l'électrode haute fréquence.
La polarisation spontanée générée par l'électrode de décharge RF accélère le bombardement ionique de la cathode, ce qui provoque l'émission continue d'électrons secondaires et maintient ainsi la décharge. Cette polarisation spontanée joue un rôle similaire à la chute de tension cathodique dans une décharge luminescente en courant continu. Malgré l'utilisation d'une alimentation RF, la décharge reste stable grâce à la tension de polarisation spontanée de 500 à 1000 V générée par l'électrode haute fréquence.
3. La décharge par radiofréquence joue un rôle important dans la décharge luminescente à pression atmosphérique et la décharge luminescente à barrière diélectrique introduites ultérieurement.
Date de publication : 21 juin 2023