1. इन्सुलेशन फिल्म के स्पटरिंग और प्लेटिंग के लिए लाभकारी। इलेक्ट्रोड की ध्रुवीयता में तीव्र परिवर्तन का उपयोग इन्सुलेटिंग लक्ष्यों पर सीधे स्पटरिंग करके इन्सुलेटिंग फिल्म प्राप्त करने के लिए किया जा सकता है। यदि डीसी पावर स्रोत का उपयोग इन्सुलेशन फिल्म के स्पटरिंग और जमाव के लिए किया जाता है, तो इन्सुलेशन फिल्म धनात्मक आयनों को कैथोड में प्रवेश करने से रोकती है, जिससे धनात्मक आयन संचय परत बनती है, जो टूटने और प्रज्वलन के लिए प्रवण होती है। एनोड पर इन्सुलेटिंग फिल्म जमा करने के बाद, इलेक्ट्रॉनों को एनोड में प्रवेश करने से रोका जाता है, जिसके परिणामस्वरूप एनोड के गायब होने की घटना होती है। इन्सुलेशन फिल्म को लेपित करने के लिए आरएफ पावर स्रोत का उपयोग करने पर, इलेक्ट्रोड की प्रत्यावर्ती ध्रुवीयता के कारण, चक्र के पहले आधे भाग में कैथोड पर संचित धनात्मक आवेश चक्र के दूसरे आधे भाग में इलेक्ट्रॉनों द्वारा बेअसर हो जाते हैं, और एनोड पर संचित इलेक्ट्रॉन धनात्मक आयनों द्वारा बेअसर हो जाते हैं। चक्र के दूसरे आधे भाग में विपरीत प्रक्रिया इलेक्ट्रोड पर आवेशों के संचय को समाप्त कर सकती है, और डिस्चार्ज प्रक्रिया सामान्य रूप से आगे बढ़ सकती है।
2. उच्च आवृत्ति वाले इलेक्ट्रोड स्व-पूर्वाग्रह उत्पन्न करते हैं। समतल इलेक्ट्रोड संरचना वाले आरएफ उपकरण में, कैपेसिटिव कपलिंग मैचिंग का उपयोग करने वाले परिपथ में उच्च आवृत्ति वाले इलेक्ट्रोड स्व-पूर्वाग्रह वोल्टेज उत्पन्न करते हैं। डिस्चार्ज में इलेक्ट्रॉन और आयन की गति में भारी अंतर के कारण इलेक्ट्रॉन एक निश्चित समय में अधिक गति प्राप्त कर लेते हैं, जबकि आयनों की धीमी गति संचय का कारण बनती है। प्रत्येक चक्र के अधिकांश समय उच्च आवृत्ति वाला इलेक्ट्रोड ऋणात्मक विभव पर रहता है, जिसके परिणामस्वरूप सतह पर ऋणात्मक वोल्टेज उत्पन्न होता है, जो उच्च आवृत्ति वाले इलेक्ट्रोड के स्व-पूर्वाग्रह की घटना है।
आरएफ डिस्चार्ज इलेक्ट्रोड द्वारा उत्पन्न स्व-पूर्वाग्रह कैथोड इलेक्ट्रोड पर आयनों की बमबारी को तेज करता है, जिससे द्वितीयक इलेक्ट्रॉनों का निरंतर उत्सर्जन होता है और डिस्चार्ज प्रक्रिया जारी रहती है। यह स्व-पूर्वाग्रह डीसी ग्लो डिस्चार्ज में कैथोड ड्रॉप के समान भूमिका निभाता है। आरएफ विद्युत आपूर्ति का उपयोग करने पर भी, उच्च आवृत्ति वाले इलेक्ट्रोड द्वारा उत्पन्न स्व-पूर्वाग्रह वोल्टेज 500-1000 वोल्ट तक पहुँचने के कारण डिस्चार्ज स्थिर रहता है।
3. रेडियो आवृत्ति निर्वहन वायुमंडलीय दबाव चमक निर्वहन और परावैद्युत अवरोध चमक निर्वहन में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है, जिसका उल्लेख बाद में किया जाएगा।
पोस्ट करने का समय: 21 जून 2023