1. Gunstig voor het sputteren en galvaniseren van isolatiefilms. De snelle verandering in elektrodepolariteit kan worden gebruikt om direct isolerende targets te sputteren en zo isolatiefilms te verkrijgen. Als een gelijkstroombron wordt gebruikt voor het sputteren en afzetten van isolatiefilm, blokkeert de isolatiefilm de toegang van positieve ionen tot de kathode, waardoor een laag met positieve ionen ontstaat die gevoelig is voor doorslag en ontsteking. Na het afzetten van een isolatiefilm op de anode wordt de toegang van elektronen tot de anode geblokkeerd, wat resulteert in het verdwijnen van de anode. Bij gebruik van een radiofrequentiebron voor het aanbrengen van isolatiefilm, worden door de wisselende polariteit van de elektroden de positieve ladingen die zich in de eerste helft van de cyclus op de kathode hebben opgehoopt, geneutraliseerd door elektronen in de tweede helft van de cyclus, en worden de elektronen die zich op de anode hebben opgehoopt, geneutraliseerd door positieve ionen. Dit omgekeerde proces in de tweede helft van de cyclus kan de ophoping van ladingen op de elektrode elimineren, waardoor het ontladingsproces normaal kan verlopen.
2. Hoogfrequente elektroden genereren zelfbias. In een RF-apparaat met een vlakke elektrodestructuur genereren de hoogfrequente elektroden in het circuit, door middel van capacitieve koppeling, een zelfbias-spanning. Het enorme verschil tussen de migratiesnelheid van elektronen en ionen tijdens de ontlading zorgt ervoor dat elektronen op een gegeven moment een hogere bewegingssnelheid bereiken, terwijl de lagere ionensnelheid accumulatie veroorzaakt. De hoogfrequente elektrode bevindt zich gedurende het grootste deel van elke cyclus op een negatieve potentiaal, wat resulteert in een negatieve spanning op het oppervlak. Dit is het fenomeen van zelfbias van de hoogfrequente elektrode.
De zelfbias die wordt opgewekt door de RF-ontladingselektrode versnelt de ionenbombardementen op de kathode-elektrode, waardoor continu secundaire elektronen worden uitgezonden om het ontladingsproces in stand te houden. Deze zelfbias speelt een vergelijkbare rol als de kathodespanningsval bij een DC-gloeiontlading. Hoewel er een RF-voeding wordt gebruikt, kan de ontlading stabiel blijven dankzij de zelfbias-spanning die door de hoogfrequente elektrode wordt opgewekt en die 500-1000 V kan bereiken.
3. Radiofrequente ontlading speelt een belangrijke rol in de later besproken gloeiontlading onder atmosferische druk en de gloeiontlading met diëlektrische barrière.
Geplaatst op: 21 juni 2023