1. Изоляция пленкасын сиптерү һәм каплау өчен файдалы. Электрод полярлыгының тиз үзгәрүе изоляция максатларына турыдан-туры сиптерү өчен кулланылырга мөмкин, шул рәвешле изоляция пленкасын сиптерү һәм урнаштыру өчен даими ток чыганагы кулланылса, изоляция пленкасы уңай ионнарның катодка керүенә комачаулый, уңай ионнар туплану катламы барлыкка китерә, ул җимерелүгә һәм кабынуга бирешүчән. Анодка изоляция пленкасы урнаштырганнан соң, электроннарның анодка керүенә комачаулый, нәтиҗәдә анод юкка чыгу күренеше барлыкка килә. Изоляция пленкасын каплау өчен RF көч чыганагын кулланганда, электродларның алмаш полярлыгы аркасында, циклның беренче яртысында катодта тупланган уңай зарядлар циклның икенче яртысында электроннар тарафыннан нейтральләштереләчәк, ә анодта тупланган электроннар уңай ионнар тарафыннан нейтральләштереләчәк. Икенче ярты циклдагы кире процесс электродта зарядлар туплануын бетерә ала, һәм разряд процессы нормаль рәвештә бара ала.
2. Югары ешлыклы электродлар үз-үзенә йогынты ясый. Яссы электрод структурасы булган RF җайланмасында, сыйдырышлы тоташтыруны кулланган схемадагы югары ешлыклы электродлар үз-үзенә йогынты ясау көчәнешен барлыкка китерә. Электрон миграциясе тизлеге һәм разрядтагы ион миграциясе тизлеге арасындагы зур аерма электроннарга билгеле бер вакытта зуррак хәрәкәт тизлегенә ирешергә мөмкинлек бирә, ә ион тизлегенең акрынрак булуы туплануга китерә. Югары ешлыклы электрод һәр циклның күпчелек өлешендә тискәре потенциалда була, бу исә җирдә тискәре көчәнеш барлыкка китерә, бу югары ешлыклы электродның үз-үзенә йогынты ясау күренеше.
Радиоелемтәләр разряд электроды тарафыннан барлыкка китерелгән үз-үзенә йогынты катод электродының ион бомбага тотуын тизләтә, разряд процессын саклап калу өчен икенчел электроннарны өзлексез чыгара, һәм үз-үзенә йогынты даими ток разрядында катод төшүенә охшаш роль уйный. Радиоелемтәләр электр белән тәэмин итү җайланмасын кулланса да, югары ешлыклы электрод тарафыннан барлыкка китерелгән үз-үзенә йогынты көчәнеше 500-1000 В га җитү сәбәпле, разряд тотрыклы була ала.
3. Радиоешлык разряды соңрак кертелгән атмосфера басымы белән балкыш разряды һәм диэлектрик киртә белән балкыш разрядының мөһим ролен уйный.
Бастырылган вакыты: 2023 елның 21 июне