1. Izolyatsiya plyonkasini purkash va qoplash uchun foydali. Elektrod qutblanishining tez o'zgarishi izolyatsiya plyonkalarini olish uchun izolyatsiya nishonlarini to'g'ridan-to'g'ri purkash uchun ishlatilishi mumkin. Agar doimiy tok manbai izolyatsiya plyonkasini purkash va qo'yish uchun ishlatilsa, izolyatsiya plyonkasi musbat ionlarning katodga kirishiga to'sqinlik qiladi va parchalanish va yonishga moyil bo'lgan musbat ion to'planish qatlamini hosil qiladi. Anodga izolyatsiya plyonkasini qo'ygandan so'ng, elektronlarning anodga kirishiga to'sqinlik qilinadi, natijada anod yo'qolishi hodisasi yuzaga keladi. Izolyatsiya plyonkasini qoplash uchun RF quvvat manbaidan foydalanilganda, elektrodlarning o'zgaruvchan qutblanishi tufayli, siklning birinchi yarmida katodda to'plangan musbat zaryadlar siklning ikkinchi yarmida elektronlar tomonidan neytrallanadi va anodda to'plangan elektronlar musbat ionlar tomonidan neytrallanadi. Ikkinchi yarim sikldagi teskari jarayon elektrodda zaryadlarning to'planishini bartaraf etishi mumkin va zaryadsizlanish jarayoni normal davom etishi mumkin.
2. Yuqori chastotali elektrodlar o'z-o'zidan yonib ketishni keltirib chiqaradi. Yassi elektrod strukturasiga ega RF qurilmasida, sig'imli ulanish moslamasidan foydalangan holda zanjirdagi yuqori chastotali elektrodlar o'z-o'zidan yonib ketish kuchlanishini hosil qiladi. Elektron migratsiyasi tezligi va razryaddagi ion migratsiyasi tezligi o'rtasidagi katta farq elektronlarga ma'lum bir vaqtda yuqori harakat tezligiga erishish imkonini beradi, sekinroq ion tezligi esa to'planishga olib keladi. Yuqori chastotali elektrod har bir siklning ko'p qismida manfiy potensialda bo'ladi, bu esa yerda manfiy kuchlanishni keltirib chiqaradi, bu yuqori chastotali elektrodning o'z-o'zidan yonib ketish hodisasidir.
RF zaryadsizlanish elektrodi tomonidan hosil qilingan o'z-o'zidan yonish katod elektrodining ion bombardimonini tezlashtiradi va zaryadsizlanish jarayonini saqlab qolish uchun ikkilamchi elektronlarni doimiy ravishda chiqaradi va o'z-o'zidan yonish DC yorug'lik zaryadsizlanishida katodning pasayishiga o'xshash rol o'ynaydi. RF quvvat manbaidan foydalanilganda ham, yuqori chastotali elektrod tomonidan hosil qilingan o'z-o'zidan yonish kuchlanishi 500-1000V ga yetishi tufayli zaryadsizlanish barqaror bo'lishi mumkin.
3. Radiochastotali razryad keyinchalik paydo bo'lgan atmosfera bosimi porlashi razryadi va dielektrik to'siq porlashi razryadida muhim rol o'ynaydi.
Nashr vaqti: 2023-yil 21-iyun