Paggamit sa RF discharge

1. Mapuslanon alang sa sputtering ug plating insulation film. Ang paspas nga pagbag-o sa polarity sa electrode magamit sa direktang pag-sput sa mga insulating target aron makakuha og mga insulating film. Kung ang usa ka DC power source gigamit sa pag-sput ug pag-deposit sa insulation film, ang insulation film mobabag sa mga positive ions sa pagsulod sa cathode, nga maporma ang usa ka positive ion accumulation layer, nga dali nga madaot ug masunog. Human sa pag-deposit sa insulating film sa anode, ang mga electron mababagan sa pagsulod sa anode, nga moresulta sa panghitabo sa pagkawala sa anode. Kung mogamit og RF power source sa pag-coat sa insulation film, tungod sa alternating polarity sa mga electrod, ang mga positive charges nga natipon sa cathode sa unang katunga sa cycle ma-neutralize sa mga electron sa ikaduhang katunga sa cycle, ug ang mga electron nga natipon sa anode ma-neutralize sa mga positive ions. Ang kaatbang nga proseso sa ikaduhang katunga sa cycle makawagtang sa pag-accumize sa mga charges sa electrode, ug ang proseso sa pag-discharge mahimong normal nga mopadayon.

2. Ang mga high frequency electrode makamugna og self bias. Sa RF device nga adunay patag nga istruktura sa electrode, ang mga high-frequency electrode sa circuit nga naggamit og capacitive coupling matching makamugna og self bias voltage. Ang dakong kalainan tali sa electron migration speed ug ion migration speed sa discharge makapahimo sa mga electron nga makab-ot ang mas taas nga movement speed sa usa ka gihatag nga oras, samtang ang mas hinay nga ion speed hinungdan sa accumulation. Ang high-frequency electrode anaa sa negatibo nga potensyal sa kadaghanan sa matag cycle, nga moresulta sa negatibo nga boltahe sa terrain, nga mao ang panghitabo sa self bias sa high-frequency electrode.

Ang self bias nga namugna sa RF discharge electrode mopaspas sa ion bombardment sa cathode electrode aron padayon nga mopagawas og Secondary electrons aron mapadayon ang proseso sa discharge, ug ang self bias adunay susamang papel sa cathode drop sa DC glow discharge. Bisan kung gamit ang RF power supply, ang discharge mahimong lig-on tungod sa self bias voltage nga namugna sa high-frequency electrode nga moabot sa 500-1000V.

3. Ang radio frequency discharge adunay importanteng papel sa atmospheric pressure glow discharge ug dielectric barrier glow discharge nga ipaila sa ulahi.