Ka hoʻohana ʻana i ka hoʻokuʻu RF

1. Pōmaikaʻi no ka sputtering a me ka plating insulation film. Hiki ke hoʻohana ʻia ka loli wikiwiki o ka polarity electrode e sputter pololei i nā pahuhopu insulating e loaʻa ai nā kiʻiʻoniʻoni insulating. Inā hoʻohana ʻia kahi kumu mana DC e sputter a waiho i ka kiʻiʻoniʻoni insulation, e ālai ka kiʻiʻoniʻoni insulation i nā ions maikaʻi mai ke komo ʻana i ka cathode, e hana ana i kahi papa hōʻiliʻili ion maikaʻi, kahi mea maʻalahi i ka haki a me ke ahi. Ma hope o ke kau ʻana i kahi kiʻiʻoniʻoni insulating ma ka anode, ua ālai ʻia nā electrons mai ke komo ʻana i ka anode, e hopena ana i ka hanana o ka nalo ʻana o ka anode. Ke hoʻohana nei i kahi kumu mana RF e uhi i ka kiʻiʻoniʻoni insulation, ma muli o ka polarity alternating o nā electrodes, ʻo nā uku maikaʻi i hōʻiliʻili ʻia ma ka cathode i ka hapa mua o ke kaʻina hana e hoʻopau ʻia e nā electrons i ka hapa ʻelua o ke kaʻina hana, a ʻo nā electrons i hōʻiliʻili ʻia ma ka anode e hoʻopau ʻia e nā ions maikaʻi. Hiki i ke kaʻina hana ʻē aʻe i ka hapa ʻelua o ke kaʻina hana ke hoʻopau i ka hōʻiliʻili ʻana o nā uku ma ka electrode, a hiki i ke kaʻina hana hoʻokuʻu ke holo maʻamau.

2. Hoʻokumu nā electrodes alapine kiʻekiʻe i ka mana ponoʻī. Ma ka hāmeʻa RF me kahi ʻano electrode pālahalaha, ʻo nā electrodes alapine kiʻekiʻe i loko o ke kaapuni e hoʻohana ana i ka hoʻohālikelike capacitive coupling e hoʻoulu i ka volta mana ponoʻī. ʻO ka ʻokoʻa nui ma waena o ka wikiwiki o ka neʻe ʻana o ka electron a me ka wikiwiki o ka neʻe ʻana o ka ion i ka hoʻokuʻu ʻana e hiki ai i nā electrons ke hoʻokō i ka wikiwiki o ka neʻe ʻana i kahi manawa i hāʻawi ʻia, ʻoiai ʻo ka wikiwiki o ka ion lohi e hoʻoulu ai i ka hōʻiliʻili ʻana. Aia ka electrode alapine kiʻekiʻe i kahi hiki ʻole no ka hapa nui o kēlā me kēia pōʻaiapuni, e hopena ana i kahi volta maikaʻi ʻole ma ka ʻāina, ʻo ia ka hanana o ka manaʻo ponoʻī o ka electrode alapine kiʻekiʻe.

ʻO ka manaʻo pilikino i hana ʻia e ka electrode hoʻokuʻu RF e hoʻolalelale i ka hoʻouka ʻana o ka ion o ka electrode cathode e hoʻokuʻu mau i nā electrons Secondary e mālama i ke kaʻina hana hoʻokuʻu, a he hana like ka manaʻo pilikino me ka hāʻule ʻana o ka cathode i ka hoʻokuʻu ʻana o ka mālamalama DC. ʻOiai ke hoʻohana nei i ka lako mana RF, hiki ke paʻa ka hoʻokuʻu ʻana ma muli o ke anakahi pilikino i hana ʻia e ka electrode alapine kiʻekiʻe e hiki ana i 500-1000V.

3. He kuleana koʻikoʻi ka hoʻokuʻu alapine lekiō i ka hoʻokuʻu ʻana o ke kukui uila i ke kaomi lewa a me ka hoʻokuʻu ʻana o ka dielectric barrier glow i hoʻolauna ʻia ma hope.