Kev siv RF tso tawm

1. Zoo rau kev siv cov zaj duab xis rwb thaiv tsev sputtering thiab plating. Kev hloov pauv sai ntawm electrode polarity tuaj yeem siv los ncaj qha sputtering cov hom phiaj rwb thaiv tsev kom tau txais cov zaj duab xis rwb thaiv tsev. Yog tias siv lub zog DC los sputter thiab tso cov zaj duab xis rwb thaiv tsev, cov zaj duab xis rwb thaiv tsev yuav thaiv cov ions zoo los ntawm kev nkag mus rau hauv cathode, tsim cov txheej txheem ion zoo, uas yooj yim tawg thiab hluav taws xob. Tom qab tso cov zaj duab xis rwb thaiv tsev rau ntawm anode, cov electrons raug thaiv los ntawm kev nkag mus rau hauv anode, ua rau muaj qhov tshwm sim ntawm anode ploj mus. Thaum siv lub zog RF los txheej cov zaj duab xis rwb thaiv tsev, vim yog qhov sib txawv ntawm cov electrodes, cov nqi zoo uas tau sau rau ntawm cathode hauv thawj ib nrab ntawm lub voj voog yuav raug neutralized los ntawm cov electrons hauv ib nrab thib ob ntawm lub voj voog, thiab cov electrons uas tau sau rau ntawm anode yuav raug neutralized los ntawm cov ions zoo. Cov txheej txheem rov qab hauv ib nrab thib ob lub voj voog tuaj yeem tshem tawm cov nqi sib sau ua ke ntawm electrode, thiab cov txheej txheem tso tawm tuaj yeem ua mus li qub.

2. Cov electrodes zaus siab tsim cov kev cuam tshuam tus kheej. Hauv lub cuab yeej RF nrog cov qauv electrode tiaj tus, cov electrodes zaus siab hauv lub voj voog siv cov khoom sib phim capacitive tsim cov hluav taws xob tus kheej. Qhov sib txawv loj ntawm qhov ceev ntawm kev tsiv teb tsaws chaw ntawm cov hluav taws xob thiab qhov ceev ntawm kev tsiv teb tsaws chaw ntawm cov ion hauv kev tso tawm ua rau cov electrons ua tiav qhov ceev ntawm kev txav mus los ntawm lub sijhawm, thaum qhov ceev qeeb ntawm cov ion ua rau muaj kev sib sau ua ke. Cov electrode zaus siab nyob ntawm qhov muaj peev xwm tsis zoo rau feem ntau ntawm txhua lub voj voog, ua rau muaj qhov hluav taws xob tsis zoo ntawm thaj av, uas yog qhov tshwm sim ntawm kev cuam tshuam tus kheej ntawm cov electrode zaus siab.

Qhov kev cuam tshuam tus kheej uas tsim los ntawm RF discharge electrode ua rau cov ion bombardment ntawm cathode electrode sai dua kom tso tawm cov electrons theem ob kom tswj tau cov txheej txheem tso tawm, thiab qhov kev cuam tshuam tus kheej ua lub luag haujlwm zoo sib xws rau qhov poob cathode hauv DC glow discharge. Txawm hais tias siv RF fais fab mov, qhov kev tso tawm tuaj yeem ruaj khov vim yog qhov hluav taws xob ntawm tus kheej uas tsim los ntawm cov electrode siab-zaus ncav cuag 500-1000V.

3. Kev tso tawm ntawm xov tooj cua ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev tso tawm lub teeb ci ntawm huab cua thiab kev tso tawm lub teeb ci dielectric uas tau qhia tom qab.