1. Beneficioso para la pulverización catódica y el recubrimiento de películas aislantes. El rápido cambio en la polaridad de los electrodos se puede utilizar para pulverizar directamente objetivos aislantes y obtener películas aislantes. Si se utiliza una fuente de alimentación de CC para pulverizar y depositar la película aislante, esta bloqueará la entrada de iones positivos al cátodo, formando una capa de acumulación de iones positivos, propensa a la ruptura y la ignición. Tras depositar una película aislante en el ánodo, se bloquea la entrada de electrones al ánodo, lo que provoca la desaparición del ánodo. Al utilizar una fuente de alimentación de RF para recubrir la película aislante, debido a la polaridad alterna de los electrodos, las cargas positivas acumuladas en el cátodo durante la primera mitad del ciclo se neutralizarán con electrones en la segunda mitad del ciclo, y los electrones acumulados en el ánodo se neutralizarán con iones positivos. El proceso inverso en la segunda mitad del ciclo puede eliminar la acumulación de cargas en el electrodo, y el proceso de descarga puede proceder con normalidad.
2. Los electrodos de alta frecuencia generan polarización automática. En el dispositivo de RF con una estructura de electrodo plano, los electrodos de alta frecuencia en el circuito que utiliza acoplamiento capacitivo generan voltaje de polarización automática. La gran diferencia entre la velocidad de migración de electrones y la de iones durante la descarga permite que los electrones alcancen una mayor velocidad de movimiento en un momento dado, mientras que la menor velocidad de los iones provoca acumulación. El electrodo de alta frecuencia se encuentra a un potencial negativo durante la mayor parte de cada ciclo, lo que resulta en un voltaje negativo en la superficie; este es el fenómeno de polarización automática del electrodo de alta frecuencia.
La polarización intrínseca generada por el electrodo de descarga de radiofrecuencia acelera el bombardeo iónico del electrodo del cátodo, lo que provoca la emisión continua de electrones secundarios y mantiene el proceso de descarga. Esta polarización intrínseca desempeña un papel similar al de la caída de tensión catódica en la descarga luminiscente de corriente continua. Incluso utilizando una fuente de alimentación de radiofrecuencia, la descarga puede ser estable gracias a la tensión de polarización intrínseca generada por el electrodo de alta frecuencia, que alcanza los 500-1000 V.
3. La descarga de radiofrecuencia juega un papel importante en la descarga luminiscente a presión atmosférica y en la descarga luminiscente de barrera dieléctrica que se introducen más adelante.
Fecha de publicación: 21 de junio de 2023