1. Aoga mo le sputtering ma le plating insulation film. O le suiga vave i le electrode polarity e mafai ona faʻaaogaina e sputtering saʻo ai insulating targets e maua ai insulating films. Afai e faʻaaogaina se DC power source e sputtering ma teuina ai insulation film, o le a taofia e le insulation film ia positive ions mai le ulufale atu i le cathode, ma fausia ai se positive ion accumulation layer, lea e faigofie ona malepe ma mu. A maeʻa ona teuina se insulating film i luga o le anode, e taofia electrons mai le ulufale atu i le anode, ma iʻu ai i le mea e tupu ai le anode mou atu. A faʻaaogaina se RF power source e ufiufi ai insulation film, ona o le alternating polarity o electrods, o positive charges e faʻaputuina i luga o le cathode i le afa muamua o le taamilosaga o le a faʻaleaogaina e electrons i le afa lona lua o le taamilosaga, ma o electrons e faʻaputuina i luga o le anode o le a faʻaleaogaina e positive ions. O le faʻagasologa faʻafeagai i le afa lona lua o le taamilosaga e mafai ona aveʻese ai le faʻaputuina o charges i luga o le electrode, ma e mafai ona faʻagasolo lelei le faʻagasologa o le faʻasaʻolotoina.
2. E fa'atupuina e eletise maualuga le fa'aitu'au ia te ia lava. I le masini RF ma se fausaga eletise mafolafola, o eletise maualuga le fa'aitu'au i le matagaluega e fa'aaogaina ai le fa'afetauiina o le capacitive coupling e fa'atupuina ai le voltage fa'aitu'au ia te ia lava. O le eseesega tele i le va o le saoasaoa o le femalaga'iga o eletise ma le saoasaoa o le femalaga'iga o le ion i le fa'asa'olotoina e mafai ai e eletise ona ausia se saoasaoa tele o le gaioiga i se taimi atofaina, ae o le saoasaoa o le ion e lemu e mafua ai le fa'aputuina. O le eletise maualuga le fa'aitu'au e iai i se gafatia leaga mo le tele o ta'amilosaga ta'itasi, ma i'u ai i se voltage leaga i luga o le laufanua, o le mea lea e tupu ai le fa'aitu'au ia te ia lava o le eletise maualuga le fa'aitu'au.
O le fa'aitu'au e mafua mai i le eletise fa'asa'oloto RF e fa'avavevave ai le osofa'iga o le ion i le eletise cathode e fa'asa'olotoina pea ai eletise lona lua e fa'atumauina ai le fa'agasologa o le fa'asa'olotoina, ma o le fa'aitu'au e tutusa lona sao ma le pa'ū o le cathode i le fa'asa'olotoina o le malamalama DC. E ui lava ina fa'aaogaina se sapalai eletise RF, ae e mafai ona mautu le fa'asa'olotoina ona o le voltage fa'aitu'au e mafua mai i le eletise maualuga e o'o atu i le 500-1000V.
3. E taua tele le fa'asa'olotoina o le leitio i le fa'asa'olotoina o le pupula o le ea i le mamafa o le ea ma le fa'asa'olotoina o le pupula o le dielectric barrier lea na fa'alauiloa mulimuli ane.
Taimi na lafoina ai: Iuni-21-2023