1. izolýasiýa plyonkasyny dökmek we örtmek üçin peýdaly. Elektrodyň polýarlygynyň çalt üýtgemegi, izolýasiýa filmlerini almak üçin izolýasiýa nyşanlaryny gönüden-göni tüýkürmek üçin ulanylyp bilner. Eger izolýasiýa filmini dökmek we goýmak üçin DC güýç çeşmesi ulanylsa, izolýasiýa filmi polo positiveitel ionlaryň katoda girmeginiň öňüni alar we pozulmagyna we ýanmagyna ýykgyn edýän polo positiveitel ion ýygnamak gatlagyny emele getirer. Anodda izolýasiýa filmi goýlandan soň, elektronlar anodyň girmeginiň öňüni alýar, bu bolsa anodyň ýitip gitmegine sebäp bolýar. Elektrodlaryň üýtgeýän polýarlygy sebäpli, RF izolýasiýa filmini ulananyňyzda, aýlawyň birinji ýarymynda katodda toplanan polo positiveitel zarýadlar aýlawyň ikinji ýarymynda elektronlar tarapyndan zyýansyzlandyrylar we anodda toplanan elektronlar polo positiveitel ionlar bilen zyýansyzlandyrylar. Ikinji ýarym aýlawdaky ters proses elektrodda zarýadlaryň ýygnanmagyny ýok edip biler we akym prosesi kadaly dowam edip biler.
2. frequokary ýygylykly elektrodlar öz-özüňi ýitirýär. Tekiz elektrod gurluşy bolan RF enjamynda, kuwwatly birikdirme gabat gelişini ulanyp, zynjyrdaky ýokary ýygylykly elektrodlar öz-özüne garşy naprýa .eniýe döredýär. Elektron göçüriş tizligi bilen akymdaky ion göçüş tizliginiň arasyndaky uly tapawut, elektronlara belli bir wagtda has uly hereket tizligini gazanmaga mümkinçilik berýär, haýal ion tizligi bolsa ýygnanmaga sebäp bolýar. Cycleokary ýygylykly elektrod, her sikliň köpüsi üçin otrisatel potensiala eýe bolup, ýokary ýygylykly elektrodyň öz-özüni tanamak hadysasy bolan ýerdäki otrisatel naprýa .eniýe döredýär.
RF çykaryjy elektrodyň öz-özünden döremegi, akym prosesini dowam etdirmek üçin ikinji derejeli elektronlary yzygiderli çykarmak üçin katod elektrodynyň ion bombalanmagyny çaltlaşdyrýar we öz-özüňi tanamak, DC ýalpyldawuk akymynyň katod düşmegine meňzeş rol oýnaýar. RF tok üpjünçiligini ulansa-da, ýokary ýygylykly elektrodyň 500-1000V ýetýän öz-özüne bagly naprýa .eniýesi sebäpli akym durnukly bolup biler.
3. Radio ýygylygynyň akymy atmosfera basyşynyň ýalpyldawuk akymynda we soňraky girizilen dielektrik barýer ýalpyldawuk akymynda möhüm rol oýnaýar.
Iş wagty: Iýun-21-2023