Metall organiki himiki bug çökündisi (MOCVD), gaz görnüşli materialyň çeşmesi metal organiki birleşme gazydyr we çökündiniň esasy reaksiýa prosesi CVD-e meňzeýär.
1.MOCVD çig gaz
MOCVD üçin ulanylýan gaz çeşmesi metal-organiki birleşme (MOC) gazydyr. Metal-organiki birleşmeler organiki maddalary metallar bilen birleşdirmek arkaly öndürilýän durnukly birleşmelerdir. Organiki birleşmeleriň arasynda alkil, aromatik bar. Alkil metil, etil, propil we butil bar. Alkil metil, etil, propil we butil bar. Aromatik, şol sanda fenil gomologlary, trimetil galliý, [Ga(CH4]3)3], trimetil alýumin [Al(CH3)3] Ga(CH3) ýaly plýonka gatlagyndaky üç, bäş birleşmede mikroelektronikanyň, optoelektronikanyň, ýarymgeçirijileriň çökmegi üçin3)3 we ammiak kremniý waferinde ýa-da sapfirde bolup biler, ol InGaN lüminesent gatlagyndaky LED lampalaryň epitaksial ösüşindäki. LED lampalar wolfram közlenme lampalaryndan 90%, 60% -den gowrak energiýa tygşytlaýan fluoresans lampalaryndan has köp energiýa tygşytlaýar. LED lampalar wolfram közlenme lampalaryndan 90% we fluoresans lampalaryndan 60% has köp energiýa tygşytlaýar. Häzirki wagtda köçe lampalarynyň, yşyklandyryş lampalarynyň we awtoulag lampalarynyň ähli görnüşleri esasan MOCVD tarapyndan öndürilen LED ýagtylyk çykarýan plýonkalary ulanýar.
2. Çöküntü temperaturasy
Organiki metal birleşmeleriniň parçalanma temperaturasy pes, çökme temperaturasy bolsa HCVD-den pes. MOCVD tarapyndan çökdürilen TiN-iň çökme temperaturasy takmynan 500 gradusa çenli peseldilip bilner.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 20-nji oktýabry