Déposisi uap kimia organik logam (MOCVD), sumber bahan gas nyaéta gas sanyawa organik logam, sareng prosés réaksi dasar déposisi sami sareng CVD.
1. Gas atah MOCVD
Sumber gas anu dianggo pikeun MOCVD nyaéta gas sanyawa logam-organik (MOC). Sanyawa logam-organik nyaéta sanyawa stabil anu dihasilkeun ku cara ngagabungkeun zat organik sareng logam. Sanyawa organik ngagaduhan alkil, aromatik. Alkil kalebet metil, etil, propil, sareng butil. Alkil kalebet metil, etil, propil, sareng butil. Aromatik kalebet homolog fenil, trimetil galium, [Ga(CH3)3], trimetil aluminium [Al(CH3)3] pikeun déposisi mikroéléktronika, optoéléktronika, semikonduktor dina tilu, lima sanyawa dina lapisan pilem, sapertos Ga(CH3)3 sareng amonia tiasa aya dina wafer silikon atanapi safir dina kamekaran epitaksial lampu LED dina lapisan luminescent InGaN. Lampu LED langkung ti 90% lampu pijar tungsten anu ngahémat énergi, langkung ti 60% lampu fluoresensi anu ngahémat énergi. Lampu LED 90% langkung hemat énergi tibatan lampu pijar tungsten sareng 60% langkung hemat énergi tibatan lampu fluoresensi. Ayeuna, sadaya jinis lampu jalan, lampu lampu sareng lampu mobil dasarna nganggo pilem pemancar cahaya LED anu diproduksi ku MOCVD.
2. Suhu déposisi
Suhu dékomposisi sanyawa logam organik rendah, sareng suhu déposisi langkung handap tibatan HCVD. Suhu déposisi TiN anu diendapkeun ku MOCVD tiasa dikirangan dugi ka sakitar 500 derajat.
–Tulisan ieu dipedalkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktos posting: 20-Okt-2023