ការដាក់លោហៈធាតុ សរីរាង្គ គីមី ចំហាយ

ការដាក់ចំហាយគីមីសរីរាង្គលោហៈ (MOCVD) ប្រភពនៃសម្ភារៈឧស្ម័នគឺជាឧស្ម័នសមាសធាតុសរីរាង្គលោហៈ ហើយដំណើរការប្រតិកម្មមូលដ្ឋាននៃការដាក់ចំហាយគឺស្រដៀងគ្នាទៅនឹង CVD។

១. ឧស្ម័នឆៅ MOCVD

ប្រភពឧស្ម័នដែលប្រើសម្រាប់ MOCVD គឺជាឧស្ម័នសមាសធាតុលោហៈ-សរីរាង្គ (MOC)។ សមាសធាតុលោហៈ-សរីរាង្គគឺជាសមាសធាតុដែលមានស្ថេរភាពដែលផលិតឡើងដោយការផ្សំសារធាតុសរីរាង្គជាមួយលោហធាតុ។ សមាសធាតុសរីរាង្គមានអាល់គីល ក្រអូប។ អាល់គីលរួមមានមេទីល អេទីល ប្រូភីល និងប៊ូទីល។ អាល់គីលរួមមានមេទីល អេទីល ប្រូភីល និងប៊ូទីល។ ក្រអូប រួមទាំងសារធាតុដូចគ្នាហ្វេនីល ទ្រីមេទីលហ្គាលីញ៉ូម [Ga(CH4]₃)₃], អាលុយមីញ៉ូមទ្រីមេទីល [Al(CH₃)₃] សម្រាប់ការដាក់មីក្រូអេឡិចត្រូនិច អុបតូអេឡិចត្រូនិច និងស៊ីមីកុងដុកទ័រនៅក្នុងសមាសធាតុបី ប្រាំនៅក្នុងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត ដូចជា Ga(CH3)₃)₃ និងអាម៉ូញាក់អាចស្ថិតនៅក្នុងបន្ទះស៊ីលីកុន ឬត្បូងកណ្តៀងលើការលូតលាស់ epitaxial នៃចង្កៀង LED នៅក្នុងស្រទាប់ luminescent InGaN។ ចង្កៀង LED សន្សំសំចៃថាមពលច្រើនជាងចង្កៀង incandescent tungsten 90% ចង្កៀង fluorescent សន្សំសំចៃថាមពលច្រើនជាង 60%។ ចង្កៀង LED មានប្រសិទ្ធភាពថាមពលច្រើនជាងចង្កៀង incandescent tungsten 90% និងមានប្រសិទ្ធភាពថាមពលច្រើនជាងចង្កៀង fluorescent 60%។ សព្វថ្ងៃនេះ ចង្កៀងតាមដងផ្លូវ ចង្កៀងបំភ្លឺ និងចង្កៀងរថយន្តគ្រប់ប្រភេទជាទូទៅប្រើប្រាស់ខ្សែភាពយន្តបញ្ចេញពន្លឺ LED ដែលផលិតដោយ MOCVD។

2. សីតុណ្ហភាព​នៃ​ការ​ដាក់​សារធាតុ​រាវ

សីតុណ្ហភាពរលួយនៃសមាសធាតុលោហៈសរីរាង្គមានកម្រិតទាប ហើយសីតុណ្ហភាពដាក់លោហៈគឺទាបជាងសីតុណ្ហភាពដាក់លោហៈ HCVD។ សីតុណ្ហភាពដាក់លោហៈ TiN ដែលដាក់ដោយ MOCVD អាចត្រូវបានកាត់បន្ថយមកត្រឹមប្រហែល 500 ដឺក្រេ។

- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ