Fametrahana etona simika organika metaly (MOCVD), ny loharanon'ny entona dia avy amin'ny fitambarana organika metaly, ary ny dingana fototra amin'ny fametrahana dia mitovy amin'ny CVD.
1. Gaz manta MOCVD
Ny loharanon-gazy ampiasaina amin'ny MOCVD dia entona metaly-organika (MOC). Ny metaly-organika dia singa marin-toerana vokarina amin'ny fampifangaroana akora organika amin'ny metaly. Ny singa organika dia misy alkyl, aromatika. Ny alkyl dia ahitana metila, etila, propyl, ary butyl. Ny alkyl dia ahitana metila, etila, propyl, ary butyl. Ny aromatika ahitana phenyl homologues, trimethyl gallium, [Ga(CH3)3], aliminioma trimetila [Al(CH3)3] ho an'ny fametrahana ny mikroelektronika, optoelektronika, semiconductors ao amin'ny singa telo, dimy ao amin'ny sosona sarimihetsika, toy ny Ga(CH3)3 ary ny amoniaka dia mety ho ao anaty wafer silikônina na safira eo amin'ny fitomboan'ny epitaxial an'ny jiro LED ao amin'ny sosona luminescent InGaN. Ny jiro LED dia mihoatra ny 90% mitsitsy angovo noho ny jiro incandescent tungsten, mihoatra ny 60% jiro fluorescent mitsitsy angovo. Ny jiro LED dia mitsitsy angovo 90% kokoa noho ny jiro incandescent tungsten ary 60% mitsitsy angovo kokoa noho ny jiro fluorescent. Amin'izao fotoana izao, ny karazana jiro an-dalambe, jiro jiro ary jiro fiara rehetra dia mampiasa sarimihetsika LED mamoaka hazavana novokarin'ny MOCVD.
2. Hafanana fametrahana
Ambany ny mari-pana lo amin'ny akora metaly organika, ary ambany noho ny an'ny HCVD ny mari-pana fametrahana azy. Azo ahena ho 500 degre eo ho eo ny mari-pana fametrahana ny TiN napetraky ny MOCVD.
–Navoakan'nympanamboatra milina fanosotra bangaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: 20-Okt-2023