Металл органикалык химиялык буу чөктүрүү (MOCVD), газ түрүндөгү материалдын булагы металл органикалык кошулма газы болуп саналат жана чөктүрүүнүн негизги реакция процесси CVDге окшош.
1.MOCVD чийки газы
MOCVD үчүн колдонулган газ түрүндөгү булак - металл-органикалык кошулма (MOC) газы. Металл-органикалык кошулмалар - органикалык заттарды металлдар менен айкалыштыруу жолу менен алынган туруктуу кошулмалар. Органикалык кошулмаларга алкил, ароматтык заттар кирет. Алкилдерге метил, этил, пропил жана бутил кирет. Алкилдерге метил, этил, пропил жана бутил кирет. Ароматтык заттарга фенил гомологдору, триметилгаллий, [Ga(CH4]3)3], триметил алюминий [Al(CH3)3] Ga(CH3) сыяктуу пленка катмарындагы үч, беш кошулмага микроэлектрониканы, оптоэлектрониканы, жарым өткөргүчтөрдү жайгаштыруу үчүн3)3 жана аммиак кремний пластинасында же сапфирде болушу мүмкүн, ал эми аммиак InGaN люминесценттик катмарындагы LED лампаларынын эпитаксиалдык өсүшүндө болот. LED лампалары вольфрам ысытуу лампаларына караганда 90% дан ашык энергияны үнөмдөйт, ал эми 60% дан ашык энергияны үнөмдөйт. LED лампалары вольфрам ысытуу лампаларына караганда 90% энергияны үнөмдөйт жана флуоресценттик лампаларга караганда 60% энергияны үнөмдөйт. Бүгүнкү күндө көчө лампаларынын, жарык берүүчү лампалардын жана автомобиль лампаларынын бардык түрлөрү негизинен MOCVD тарабынан чыгарылган LED жарык чыгаруучу пленкаларды колдонушат.
2. Чөкмө температурасы
Органикалык металл кошулмаларынын ажыроо температурасы төмөн, ал эми чөкмө температурасы HCVDге караганда төмөн. MOCVD тарабынан чөктүрүлгөн TiNдин чөкмө температурасын болжол менен 500 градуска чейин төмөндөтүүгө болот.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 20-октябрь, 2023-жыл