உலோக கரிம இரசாயன ஆவி படிவு

உலோக கரிம வேதி ஆவிப் படிவு (MOCVD) முறையில், வாயுப் பொருளின் மூலமானது உலோக கரிம சேர்ம வாயு ஆகும், மேலும் இதன் படிவுக்கான அடிப்படை வினை செயல்முறையானது வேதி ஆவிப் படிவைப் (CVD) போன்றது.

1. MOCVD மூல வாயு

MOCVD-க்கு பயன்படுத்தப்படும் வாயு மூலமானது உலோக-கரிம சேர்ம (MOC) வாயு ஆகும். உலோக-கரிம சேர்மங்கள் என்பவை கரிமப் பொருட்களை உலோகங்களுடன் இணைப்பதன் மூலம் உருவாக்கப்படும் நிலையான சேர்மங்கள் ஆகும். கரிம சேர்மங்கள் ஆல்கைல் மற்றும் அரோமேட்டிக் சேர்மங்களைக் கொண்டுள்ளன. ஆல்கைல் சேர்மங்களில் மெத்தில், எத்தில், புரோப்பைல் மற்றும் பியூட்டைல் ​​ஆகியவை அடங்கும். அரோமேட்டிக் சேர்மங்களில் ஃபினைல் ஹோமோலாகுகள், டிரைமெத்தில் காலியம், [Ga(CH3)3] ஆகியவை அடங்கும்.₃)₃], ட்ரைமெதில் அலுமினியம் [Al(CH₃)₃படல அடுக்கில் உள்ள மூன்று, ஐந்து சேர்மங்களில் நுண்மின்னணுவியல், ஒளியியல் மின்னணுவியல், குறைக்கடத்திகள் ஆகியவற்றைப் படியவைப்பதற்காக, Ga(CH)₃ போன்றவை.₃)₃ மேலும், LED விளக்குகளின் எபிடெக்சியல் வளர்ச்சியின் போது, ​​InGaN ஒளிரும் அடுக்கில் உள்ள சிலிக்கான் வேஃபர் அல்லது சபையரில் அம்மோனியா இருக்கலாம். LED விளக்குகள், டங்ஸ்டன் இன்கேண்டசென்ட் விளக்குகளை விட 90% அதிகமாகவும், ஃப்ளோரசென்ட் விளக்குகளை விட 60% அதிகமாகவும் ஆற்றல் சேமிப்புத் திறன் கொண்டவை. LED விளக்குகள், டங்ஸ்டன் இன்கேண்டசென்ட் விளக்குகளை விட 90% அதிகமாகவும், ஃப்ளோரசென்ட் விளக்குகளை விட 60% அதிகமாகவும் ஆற்றல் திறன் கொண்டவை. தற்காலத்தில், அனைத்து வகையான தெரு விளக்குகள், மின்விளக்குகள் மற்றும் வாகன விளக்குகள் ஆகியவை அடிப்படையில் MOCVD முறையில் தயாரிக்கப்பட்ட LED ஒளி உமிழும் படலங்களைப் பயன்படுத்துகின்றன.

2. படிவு வெப்பநிலை

கரிம உலோகச் சேர்மங்களின் சிதைவு வெப்பநிலை குறைவாக உள்ளது, மேலும் அதன் படிவு வெப்பநிலை HCVD முறையை விடக் குறைவாகும். MOCVD முறையில் படியவைக்கப்படும் TiN-இன் படிவு வெப்பநிலையை சுமார் 500 டிகிரி வரை குறைக்க முடியும்.

–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா