Metall organik kimyoviy bug'lanish cho'kmasi (MOCVD), gazsimon material manbai metall organik birikma gazidir va cho'ktirishning asosiy reaksiya jarayoni CVDga o'xshaydi.
1.MOCVD xom gazi
MOCVD uchun ishlatiladigan gazsimon manba metall-organik birikma (MOC) gazidir. Metall-organik birikmalar organik moddalarni metallar bilan birlashtirish orqali hosil bo'ladigan barqaror birikmalardir. Organik birikmalar alkil, aromatik moddalarga ega. Alkil tarkibiga metil, etil, propil va butil kiradi. Alkil tarkibiga metil, etil, propil va butil kiradi. Aromatik moddalarga fenil gomologlari, trimetil galliy, [Ga(CH3]) kiradi.3)3], trimetil alyuminiy [Al(CH3)3] Ga(CH4) kabi plyonka qatlamidagi uchta, beshta birikmada mikroelektronika, optoelektronika, yarimo'tkazgichlarni cho'ktirish uchun3)3 va ammiak kremniy plastinkasida yoki sapfirda, InGaN lyuminestsent qatlamida LED lampalarning epitaksial o'sishida bo'lishi mumkin. LED lampalar volfram akkor lampalarga qaraganda 90% dan ko'proq energiya tejaydi, 60% dan ortiq energiya tejaydigan lyuminestsent lampalardir. LED lampalar volfram akkor lampalarga qaraganda 90% ko'proq energiya tejaydi va lyuminestsent lampalarga qaraganda 60% ko'proq energiya tejaydi. Hozirgi kunda barcha turdagi ko'cha chiroqlari, yoritish lampalari va avtomobil lampalari asosan MOCVD tomonidan ishlab chiqarilgan LED yorug'lik chiqaradigan plyonkalardan foydalanadi.
2. Cho'kma harorati
Organik metall birikmalarining parchalanish harorati past va cho'kma harorati HCVDnikidan pastroq. MOCVD tomonidan cho'ktirilgan TiN ning cho'kma harorati taxminan 500 darajagacha tushirilishi mumkin.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Nashr vaqti: 2023-yil 20-oktabr