Металл органик химик пар белән каплау (MOCVD), газсыман материал чыганагы металл органик кушылма газы, һәм төп реакция процессы CVD белән охшаш.
1.MOCVD чимал газы
MOCVD өчен кулланыла торган газсыман чыганак - металл-органик кушылма (MOC) газы. Металл-органик кушылмалар - органик матдәләрне металлар белән кушу юлы белән барлыкка килгән тотрыклы кушылмалар. Органик кушылмаларда алкил, ароматик матдәләр бар. Алкилларга метил, этил, пропил һәм бутил керә. Алкилларга метил, этил, пропил һәм бутил керә. Ароматик матдәләргә фенил гомологлары, триметилгаллий, [Ga(CH4]3)3], триметил алюминий [Al(CH3)3] пленка катламындагы өч, биш кушылмада, мәсәлән, Ga(CH3) микроэлектроника, оптоэлектроника, ярымүткәргечләрне урнаштыру өчен3)3 һәм аммиак кремний пластинасында яки сапфирда, InGaN люминесцент катламында LED лампаларының эпитаксиаль үсүендә булырга мөмкин. LED лампалары вольфрамлы кыздыру лампаларына караганда 90% тан артык энергияне экономияли, 60% тан артык энергияне экономияли. LED лампалары вольфрамлы кыздыру лампаларына караганда 90% ка күбрәк энергияне экономияли һәм люминесцент лампаларга караганда 60% ка күбрәк энергияне экономияли. Хәзерге вакытта барлык төр урам лампалары, яктырту лампалары һәм автомобиль лампалары, нигездә, MOCVD тарафыннан җитештерелгән LED яктылык чыгаручы пленкаларны куллана.
2. Чөгү температурасы
Органик металл кушылмаларының таркалу температурасы түбән, ә утыру температурасы HCVDныкыннан түбәнрәк. MOCVD белән урнаштырылган TiN утыру температурасын якынча 500 градуска кадәр киметергә мөмкин.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 20 октябре