مېتال ئورگانىك خىمىيىلىك پارغا چۆكۈش (MOCVD)، گاز شەكىللىك ماتېرىيالنىڭ مەنبەسى مېتال ئورگانىك بىرىكمە گازى بولۇپ، چۆكۈشنىڭ ئاساسىي رېئاكسىيە جەريانى CVD غا ئوخشايدۇ.
1.MOCVD خام گازى
MOCVD ئۈچۈن ئىشلىتىلىدىغان گاز مەنبەسى مېتال-ئورگانىك بىرىكمە (MOC) گازىدۇر. مېتال-ئورگانىك بىرىكمىلەر ئورگانىك ماددىلارنى مېتاللار بىلەن بىرلەشتۈرۈش ئارقىلىق ھاسىل بولغان مۇقىم بىرىكمىلەردۇر. ئورگانىك بىرىكمىلەردە ئالكىل، خۇشپۇراق ماددىلار بار. ئالكىللاردا مېتىل، ئېتىل، پروپىل ۋە بۇتىل بار. ئالكىللاردا مېتىل، ئېتىل، پروپىل ۋە بۇتىل بار. خۇشپۇراق ماددىلاردا فېنىل گومولوگلىرى، ترىمېتىل گاللىي، [Ga(CH3]) قاتارلىقلار بار.3)3]، تىرىمېتىل ئاليۇمىن [Al(CH3)3] پىلاستىنكا قەۋىتىدىكى ئۈچ، بەش خىل بىرىكمىلەرگە، مەسىلەن Ga(CH4) قاتارلىق مىكرو ئېلېكترون، ئوپتو ئېلېكترون، يېرىم ئۆتكۈزگۈچلەرنى چۆكتۈرۈش ئۈچۈن3)3 ۋە ئاممىياك InGaN لۇمىنېتسسېنسىيە قەۋىتىدىكى LED لامپىلىرىنىڭ ئېپىتاكسىيال ئۆسۈشىدىكى كرېمنىي لېنتىسى ياكى ياقۇتتا بولۇشى مۇمكىن. LED لامپىلىرى ۋولفراملىق چوققا چىرىغىدىن %90 تىن ئارتۇق ئېنېرگىيە تېجەيدىغان فلۇئورېسسېنسىيەلىك لامپا بولۇپ، %60 تىن ئارتۇق ئېنېرگىيە تېجەيدۇ. LED لامپىلىرى ۋولفراملىق چوققا چىرىغىدىن %90 ئېنېرگىيە تېجەيدۇ ۋە فلۇئورېسسېنسىيەلىك لامپىلاردىن %60 ئېنېرگىيە تېجەيدۇ. ھازىر ھەر خىل كوچا لامپىلىرى، يورۇتۇش لامپىلىرى ۋە ئاپتوموبىل لامپىلىرى ئاساسەن MOCVD ئىشلەپچىقارغان LED يورۇقلۇق چىقىرىدىغان پىلاستىنكىلارنى ئىشلىتىدۇ.
2. چۆكمە تېمپېراتۇرىسى
ئورگانىك مېتال بىرىكمىلىرىنىڭ پارچىلىنىش تېمپېراتۇرىسى تۆۋەن، چۆكمە تېمپېراتۇرىسى HCVDنىڭكىدىن تۆۋەن. MOCVD تەرىپىدىن چۆكمە قىلىنغان TiN نىڭ چۆكمە تېمپېراتۇرىسىنى تەخمىنەن 500 گرادۇسقىچە تۆۋەنلىتىشكە بولىدۇ.
– بۇ ماقالە نەشر قىلغۇچى تەرىپىدىن تارقىتىلدىۋاكۇئۇم قاپلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2023-يىلى 10-ئاينىڭ 20-كۈنى