Fa'aputuga o le Ausa o le Uamea Fa'alenatura

O le Metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), o le puna o mea kesi o le kesi uʻamea organic compound, ma o le faiga autu o le tali atu i le deposition e tutusa ma le CVD.

1.MOCVD kesi mata

O le puna kesi e faʻaaogaina mo le MOCVD o le kesi metal-organic compound (MOC). O metal-organic compounds o ni compound mautu e gaosia e ala i le tuʻufaʻatasia o mea ola ma metala. O organic compounds e iai le alkyl, aromatic. O le Alkyl e aofia ai le methyl, ethyl, propyl, ma le butyl. O le Alkyl e aofia ai le methyl, ethyl, propyl, ma le butyl. O mea manogi e aofia ai le phenyl homologues, trimethyl gallium, [Ga(CH₃)₃], trimethyl alumini [Al(CH₃)₃] mo le fa'aputuina o microelectronics, optoelectronics, semiconductors i totonu o le tolu, lima vaila'au i le vaega o le ata tifaga, e pei o le Ga(CH₃)₃ ma e mafai ona iai le ammonia i le silicon wafer poʻo le safaira i luga o le tuputupu aʻe epitaxial o lamepa LED i le vaega luminescent InGaN. O lamepa LED e sili atu nai lo le tungsten incandescent e sefe ai le malosi e 90%, e sili atu ma le 60% lamepa fluorescent e sefe ai le malosi. O lamepa LED e 90% sili atu le faʻasaoina o le malosi nai lo lamepa tungsten incandescent ma 60% sili atu le faʻasaoina o le malosi nai lo lamepa fluorescent. I aso nei, o ituaiga uma o lamepa auala, lamepa moli ma lamepa taʻavale e faʻaaogaina ai ata tifaga LED e faʻasalalauina ai le malamalama na gaosia e le MOCVD.

2. Vevela o le fa'aputuga

E maualalo le vevela o le pala o mea fa'aputu u'amea fa'aola, ma e maualalo le vevela o le fa'aputuga nai lo le HCVD. E mafai ona fa'aitiitia le vevela o le fa'aputuga o le TiN e fa'aputuga e le MOCVD i le tusa ma le 500 tikeri.

–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua