Таҳшиншавии буғии кимиёвии органикии металлӣ (MOCVD), манбаи маводи газӣ гази пайвастагии органикии металлӣ мебошад ва раванди асосии реаксияи таҳшиншавӣ ба CVD монанд аст.
1. Гази хоми MOCVD
Манбаи газшакл, ки барои MOCVD истифода мешавад, гази пайвастагии металлӣ-органикӣ (MOC) мебошад. Пайвастагиҳои металлӣ-органикӣ пайвастагиҳои устуворе мебошанд, ки тавассути омезиши моддаҳои органикӣ бо металлҳо ба вуҷуд меоянд. Пайвастагиҳои органикӣ алкил, ароматикӣ доранд. Алкилҳо метил, этил, пропил ва бутилро дар бар мегиранд. Алкилҳо метил, этил, пропил ва бутилро дар бар мегиранд. Ароматикӣ, аз ҷумла гомологҳои фенил, триметилгаллий, [Ga(CH4]3)3], триметил алюминий [Al(CH3)3] барои ҷойгиркунии микроэлектроника, оптоэлектроника, нимноқилҳо дар се, панҷ пайвастагӣ дар қабати плёнка, ба монанди Ga(CH4)3)3 ва аммиак метавонад дар лавҳаи силикон ё сапфир дар афзоиши эпитаксиалии лампаҳои LED дар қабати люминесцентии InGaN мавҷуд бошад. Чароғҳои LED нисбат ба лампаҳои тафсони волфрам 90%, лампаҳои флуоресцентии зиёда аз 60% энергияро сарфа мекунанд. Чароғҳои LED нисбат ба лампаҳои тафсони волфрам 90% ва нисбат ба лампаҳои флуоресцентӣ 60% энергияро самараноктар истифода мебаранд. Имрӯзҳо, ҳама намуди чароғҳои кӯча, чароғҳои рӯшноӣ ва чароғҳои автомобилӣ асосан аз плёнкаҳои рӯшноии LED истифода мебаранд, ки аз ҷониби MOCVD истеҳсол шудаанд.
2. Ҳарорати боркунӣ
Ҳарорати таҷзияи пайвастагиҳои металлии органикӣ паст аст ва ҳарорати таҳшиншавӣ нисбат ба HCVD пасттар аст. Ҳарорати таҳшиншавии TiN-ро, ки аз ҷониби MOCVD таҳшин шудааст, то тақрибан 500 дараҷа паст кардан мумкин аст.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 20 октябри соли 2023