মেটাল অর্গানিক কেমিক্যাল ভেপার ডিপোজিশন (MOCVD)-এর ক্ষেত্রে, গ্যাসীয় পদার্থের উৎস হলো মেটাল অর্গানিক কম্পাউন্ড গ্যাস, এবং এর ডিপোজিশনের মৌলিক বিক্রিয়া প্রক্রিয়া CVD-এর অনুরূপ।
১. এমওসিভিডি কাঁচা গ্যাস
MOCVD-তে ব্যবহৃত গ্যাসীয় উৎস হলো মেটাল-অর্গানিক কম্পাউন্ড (MOC) গ্যাস। মেটাল-অর্গানিক কম্পাউন্ড হলো স্থিতিশীল যৌগ যা জৈব পদার্থের সাথে ধাতুর সংযোগে উৎপন্ন হয়। জৈব যৌগের মধ্যে অ্যালকাইল ও অ্যারোমেটিক যৌগ রয়েছে। অ্যালকাইলের মধ্যে রয়েছে মিথাইল, ইথাইল, প্রোপাইল এবং বিউটাইল। অ্যারোমেটিক যৌগের মধ্যে রয়েছে ফিনাইল হোমোলগ, ট্রাইমিথাইল গ্যালিয়াম, [Ga(CH₃)₂]³⁺।3)3], ট্রাইমিথাইল অ্যালুমিনিয়াম [Al(CH3)3ফিল্ম স্তরে তিন, পাঁচ ধরনের যৌগ, যেমন Ga(CH₃)₂, ব্যবহার করে মাইক্রোইলেকট্রনিক্স, অপ্টোইলেকট্রনিক্স, সেমিকন্ডাক্টর জমা করার জন্য।3)3 এবং অ্যামোনিয়া সিলিকন ওয়েফার বা স্যাফায়ারে এলইডি ল্যাম্পের এপিট্যাক্সিয়াল গ্রোথের সময় ইনগ্যান (InGaN) আলোক-নিঃসরণকারী স্তরে থাকতে পারে। এলইডি ল্যাম্প টাংস্টেন ইনক্যান্ডেসেন্ট ল্যাম্পের চেয়ে ৯০% এবং ফ্লুরোসেন্ট ল্যাম্পের চেয়ে ৬০% বেশি শক্তি সাশ্রয়ী। এলইডি ল্যাম্প টাংস্টেন ইনক্যান্ডেসেন্ট ল্যাম্পের চেয়ে ৯০% এবং ফ্লুরোসেন্ট ল্যাম্পের চেয়ে ৬০% বেশি শক্তি সাশ্রয়ী। বর্তমানে, সব ধরনের রাস্তার বাতি, আলোকসজ্জার বাতি এবং গাড়ির বাতিতে মূলত এমওসিভিডি (MOCVD) পদ্ধতিতে উৎপাদিত এলইডি আলো-নিঃসরণকারী ফিল্ম ব্যবহার করা হয়।
২. অবক্ষেপণ তাপমাত্রা
জৈব ধাতব যৌগের বিয়োজন তাপমাত্রা কম এবং এর অধঃক্ষেপণ তাপমাত্রা HCVD-এর চেয়ে কম। MOCVD পদ্ধতিতে অধঃক্ষেপিত TiN-এর অধঃক্ষেপণ তাপমাত্রা প্রায় ৫০০ ডিগ্রি পর্যন্ত কমানো যায়।
–এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্ট করার সময়: ২০-অক্টোবর-২০২৩