Ifipamọ́ ọrinrin kemikali onirin (MOCVD), orisun ohun elo gaasi ni gaasi onirin onirin onirin, ati ilana iṣedaṣe ipilẹ ti ifipamọ jẹ iru si CVD.
1.MOCVD gaasi aise
Orísun gaasi tí a lò fún MOCVD ni gaasi irin-organic compound (MOC). Àwọn agbo-ẹ̀rọ irin-organic jẹ́ àwọn agbo-ẹ̀rọ tí ó dúró ṣinṣin tí a ń ṣe nípa sísopọ̀ àwọn ohun alumọ́ọ́nì pẹ̀lú àwọn irin. Àwọn agbo-ẹ̀rọ Organic ní alkyl, aromatic. Àwọn alkyl ní methyl, ethyl, propyl, àti butyl. Àwọn alkyl ní methyl, ethyl, propyl, àti butyl. Àwọn olóòórùn dídùn pẹ̀lú àwọn phenyl homologues, trimethyl gallium, [Ga(CH)3)3], aluminiomu trimethyl [Al(CH3)3] fún ìfipamọ́ àwọn microelectronics, optoelectronics, semiconductors nínú àwọn èròjà mẹ́ta, márùn-ún nínú ìpele fíìmù náà, bíi Ga(CH3)3 àti pé ammonia lè wà nínú wafer silicon tàbí sapphire lórí ìdàgbàsókè epitaxial ti àwọn fìtílà LED nínú ìpele luminescent InGaN. Àwọn fìtílà LED ju tungsten incandescent lọ tí ó ń fi agbára pamọ́ 90%, ó ju 60% àwọn fìtílà fluorescent tí ó ń fi agbára pamọ́ lọ. Àwọn fìtílà LED ní agbára 90% ju àwọn fìtílà tungsten incandescent lọ àti agbára 60% ju àwọn fìtílà fluorescent lọ. Lóde òní, gbogbo onírúurú fìtílà òpópónà, àwọn fìtílà iná àti àwọn fìtílà ọkọ̀ ayọ́kẹ́lẹ́ ń lo àwọn fíìmù tí ń tú ìmọ́lẹ̀ LED tí MOCVD ṣe.
2. Iwọn otutu ti a fi silẹ
Iwọn otutu ti awọn agbo ogun irin adayeba kere, ati iwọn otutu ti a fi pamọ si kere ju ti HCVD lọ. Iwọn otutu ti a fi pamọ si TiN ti a fi pamọ si MOCVD le dinku si iwọn 500.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹ̀wàá-20-2023