Металл органикалық химиялық бу тұндыру (MOCVD), газ тәрізді материалдың көзі металл органикалық қосылыс газы болып табылады, ал тұндырудың негізгі реакция процесі CVD-ге ұқсас.
1.MOCVD шикі газы
MOCVD үшін қолданылатын газ тәрізді көз - металл-органикалық қосылыс (MOC) газы. Металл-органикалық қосылыстар - органикалық заттарды металдармен біріктіру арқылы түзілетін тұрақты қосылыстар. Органикалық қосылыстарға алкил, хош иісті заттар жатады. Алкилдерге метил, этил, пропил және бутил жатады. Алкилдерге метил, этил, пропил және бутил жатады. Хош иісті заттарға фенил гомологтары, триметилгаллий, [Ga(CH4] жатады.3)3], триметил алюминий [Al(CH3)3] микроэлектрониканы, оптоэлектрониканы, жартылай өткізгіштерді пленка қабатындағы үш, бес қосылысқа, мысалы, Ga(CH3) тұндыру үшін3)3 ал аммиак кремний пластинасында немесе сапфирде InGaN люминесцентті қабатындағы жарықдиодты шамдардың эпитаксиалды өсуінде болуы мүмкін. Жарықдиодты шамдар вольфрам қыздыру шамдарына қарағанда 90% энергия үнемдейді, 60% энергия үнемдейтін люминесцентті шамдар. Жарықдиодты шамдар вольфрам қыздыру шамдарына қарағанда 90% энергия үнемдейді және люминесцентті шамдарға қарағанда 60% энергия үнемдейді. Қазіргі уақытта көше шамдарының, жарықтандыру шамдарының және автомобиль шамдарының барлық түрлері негізінен MOCVD шығаратын жарықдиодты жарық шығаратын пленкаларды пайдаланады.
2. Тұндыру температурасы
Органикалық металл қосылыстарының ыдырау температурасы төмен, ал тұндыру температурасы HCVD-ге қарағанда төмен. MOCVD тұндыруымен TiN тұндыру температурасын шамамен 500 градусқа дейін төмендетуге болады.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 20 қазан 2023 ж.