Металл органик химийн уурын тунадасжуулалт (MOCVD), хийн материалын эх үүсвэр нь металл органик нэгдлийн хий бөгөөд тунадасжуулалтын үндсэн урвалын процесс нь CVD-тэй төстэй.
1.MOCVD түүхий хий
MOCVD-д ашигладаг хийн эх үүсвэр нь металл-органик нэгдэл (MOC) хий юм. Металл-органик нэгдлүүд нь органик бодисыг металлтай нэгтгэснээр үүсдэг тогтвортой нэгдлүүд юм. Органик нэгдлүүд нь алкил, үнэрт бодис агуулдаг. Алкилд метил, этил, пропил, бутил орно. Алкилд метил, этил, пропил, бутил орно. Анхилуун үнэрт бодисууд нь фенил гомолог, триметил галлий, [Ga(CH4]3)3], триметил хөнгөн цагаан [Al(CH3)3] Ga(CH3) зэрэг хальсан давхарга дахь гурван, таван нэгдэлд микроэлектроник, оптоэлектроник, хагас дамжуулагчийг тунадасжуулахад зориулагдсан3)3 мөн аммиак нь InGaN гэрэлтэгч давхарга дахь LED чийдэнгийн эпитаксиал өсөлт дээр цахиурын вафли эсвэл индранилд байж болно. LED чийдэн нь вольфрамын улайсдаг чийдэнгээс 90%, 60% -иас илүү эрчим хүч хэмнэдэг флюресцент чийдэнгээс илүү эрчим хүч хэмнэдэг. LED чийдэн нь вольфрамын улайсдаг чийдэнгээс 90%, флюресцент чийдэнгээс 60% илүү эрчим хүч хэмнэдэг. Өнөө үед бүх төрлийн гудамжны чийдэн, гэрэлтүүлгийн чийдэн, автомашины чийдэнгүүд нь үндсэндээ MOCVD-ийн үйлдвэрлэсэн LED гэрэл ялгаруулдаг хальсыг ашигладаг.
2. Тунадасны температур
Органик металлын нэгдлүүдийн задралын температур бага бөгөөд тунадасжих температур нь HCVD-ээс бага байдаг. MOCVD-ээр тунадасжуулсан TiN-ийн тунадасжих температурыг 500 орчим градус хүртэл бууруулж болно.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 10-р сарын 20