የብረት ኦርጋኒክ ኬሚካል ትነት ማስቀመጫ

የብረት ኦርጋኒክ ኬሚካላዊ የእንፋሎት ክምችት (MOCVD)፣ የጋዝ ቁሳቁስ ምንጭ የብረት ኦርጋኒክ ውህድ ጋዝ ሲሆን፣ የመቀመጫው መሰረታዊ የምላሽ ሂደት ከCVD ጋር ተመሳሳይ ነው።

1.MOCVD ጥሬ ጋዝ

ለ MOCVD ጥቅም ላይ የሚውለው የጋዝ ምንጭ የብረት-ኦርጋኒክ ውህድ (MOC) ጋዝ ነው። የብረት-ኦርጋኒክ ውህዶች ኦርጋኒክ ንጥረ ነገሮችን ከብረታ ብረት ጋር በማጣመር የሚመነጩ የተረጋጋ ውህዶች ናቸው። ኦርጋኒክ ውህዶች አልኪል፣ መዓዛ አላቸው። አልኪል ሜቲል፣ ኤቲል፣ ፕሮፒል እና ቡቲል ያካትታሉ። አልኪል ሜቲል፣ ኤቲል፣ ፕሮፒል እና ቡቲል ያካትታሉ። መዓዛ ያላቸው ፌኒል ሆሞሎጎች፣ ትሪሜቲል ጋሊየም፣ [Ga(CH)₃)₃]፣ ትሪሜቲል አልሙኒየም [Al(CH₃)₃] እንደ Ga(CH) ባሉ በፊልም ንብርብር ውስጥ ባሉ ሶስት፣ አምስት ውህዶች ውስጥ የማይክሮኤሌክትሮኒክስ፣ የኦፕቶኤሌክትሮኒክስ፣ የሴሚኮንዳክተሮችን ለማስቀመጥ₃)₃ እና አሞኒያ በInGaN luminescent ንብርብር ውስጥ ባሉ የ LED መብራቶች ኤፒታክሲያል እድገት ላይ በሲሊኮን ዋፈር ወይም ሰንፔር ውስጥ ሊሆን ይችላል። የ LED መብራቶች ከ tungsten incandescent ኃይል ቆጣቢ 90% በላይ፣ ከ60% በላይ ኃይል ቆጣቢ የፍሎረሰንት መብራቶች ናቸው። የ LED መብራቶች ከ tungsten incandescent መብራቶች 90% የበለጠ ኃይል ቆጣቢ እና ከፍሎረሰንት መብራቶች 60% የበለጠ ኃይል ቆጣቢ ናቸው። በአሁኑ ጊዜ፣ ሁሉም አይነት የመንገድ መብራቶች፣ የመብራት መብራቶች እና የመኪና መብራቶች በመሠረቱ በ MOCVD የተመረቱ የ LED ብርሃን አመንጪ ፊልሞችን ይጠቀማሉ።

2. የማስቀመጫ ሙቀት

የኦርጋኒክ የብረት ውህዶች የመበስበስ ሙቀት ዝቅተኛ ሲሆን የመቀመጫው የሙቀት መጠን ከHCVD ያነሰ ነው። በMOCVD የተቀመጠው የTiN የመቀመጫ ሙቀት ወደ 500 ዲግሪ አካባቢ ሊቀንስ ይችላል።

- ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ