Metal organiki himiki buglaryň çökdürilmegi (MOCVD), gaz materialynyň çeşmesi metal organiki birleşme gazy we çökdürmegiň esasy reaksiýa prosesi CVD-e meňzeýär.
1.MOCVD çig gaz
MOCVD üçin ulanylýan gaz çeşmesi metal-organiki birleşme (MOC) gazydyr. Metal-organiki birleşmeler, organiki maddalary metallar bilen birleşdirmek arkaly öndürilýän durnukly birleşmelerdir. Organiki birleşmelerde alkil, ysly bar. Alkile metil, etil, propil we butil degişlidir. Alkile metil, etil, propil we butil degişlidir. Fenil gomologlary, trimetil galiý, [Ga (CH)3)3], trimetil alýumin [Al (CH)3)3] mikroelektronikany, optoelektronikany, ýarymgeçirijileri üç (Ga) ýaly film gatlagynda üç, bäş birleşmede goýmak üçin3)3 ammiak, InGaN lýumesent gatlagynda LED lampalaryň epitaksial ösmeginde kremniý wafli ýa-da sapfir bolup biler. LED lampalar wolfram akkor energiýa tygşytlaýjydan 90%, energiýa tygşytlaýjy floresan lampalardan 60% -den köp. LED lampalar wolfram akkor lampalaryna garanyňda 90%, floresan lampalara garanyňda 60% has tygşytly. Häzirki wagtda her dürli köçe çyralary, yşyklandyryjy lampalar we awtoulag lampalary esasan MOCVD tarapyndan öndürilen LED yşyklandyryjy filmleri ulanýarlar.
2. Çökgünligiň temperaturasy
Organiki metal birleşmeleriniň dargamak temperaturasy pes, çöketlik temperaturasy HCVD-den pesdir. MOCVD tarapyndan goýlan TiN-iň çöketlik temperaturasy takmynan 500 derejä çenli peseldilip bilner.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: 20-2023-nji oktýabr