Gyzgyn simli ýaý bilen güýçlendirilen plazma himiki bug çökündisi tehnologiýasy gyzgyn simli ýaý tüpeňini ulanyp, ýaý plazmasyny çykarýar, bu bolsa gyzgyn simli ýaý tüpeňiniň ion örtük tehnologiýasyna meňzeýär, ýöne tapawudy, gyzgyn simli ýaý tüpeňiniň ion örtügi bilen alynýan berk plýonkanyň gyzgyn simli ýaý tüpeňiniň çykarýan ýaý çyrasynyň elektron akymyny ulanyp, metaly tigelde gyzdyrýar we bugarýar, gyzgyn simli ýaý çyrasy bolsa almaz plýonkalaryny çökündi etmek üçin ulanylýan CH4 we H2 ýaly reaksiýa gazlary bilen üpjün edilýär. Gyzgyn simli ýaý tüpeňiniň çykarýan ýokary dykyzlykly ýaý boşaltma toguna daýanyp, reaksiýa gaz ionlary gaz ionlary, atom ionlary, işjeň toparlar we ş.m. ýaly dürli aktiw bölejikleri almak üçin tolgundyrylýar.
Gyzgyn simli ýaýly PECVD enjamynda örtük otagynyň daşynda iki elektromagnit spiral goýulýar, bu bolsa anod tarap hereket wagtynda ýokary dykyzlykly elektron akymynyň aýlanmagyna sebäp bolýar, bu bolsa elektron akymy bilen reaksiýa gazynyň arasyndaky çaknyşma we ionlaşma ähtimallygyny ýokarlandyrýar. Elektromagnit spiral tutuş çökündi kamerasynyň plazma dykyzlygyny ýokarlandyrmak üçin ýaý sütünine hem birleşip bilýär. Ýaýly plazmada bu işjeň bölejikleriň dykyzlygy ýokary bolýar, bu bolsa almaz plyonkalaryny we beýleki plyonka gatlaklaryny iş bölegine çökdürmegi aňsatlaşdyrýar.
——Bu makala Guangdong Zhenhua Technology tarapyndan çap edildioptiki örtük maşynlaryny öndüriji.
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 5-nji maýy