Gyzgyn sim arkasy güýçlendirilen plazma himiki buglary çökdürmek tehnologiýasy, gyzgyn sim arkasy PECVD tehnologiýasy hökmünde gysgaldylan ark plazmasyny çykarmak üçin gyzgyn simli ýaý ýaragyny ulanýar.Bu tehnologiýa, gyzgyn simli ýaýly ion örtük tehnologiýasyna meňzeýär, ýöne tapawudy, gyzgyn simli ýaýly ion örtügi bilen alnan gaty film, demir simiň ýaragy tarapyndan çykarylýan arkany ýeňil elektron akymyny ulanyp, metaly gyzdyrmak we bugarmak üçin ulanylýar. iň möhümi, gyzgyn sim arkasy çyrasy PECVD göwher filmleri goýmak üçin ulanylýan CH4 we H2 ýaly reaksiýa gazlary bilen iýmitlenýär.Gyzgyn simli ýaýyň çykýan ýokary dykyzlykly ýaý akymyna bil baglamak bilen, reaktiw gaz ionlary dürli işjeň bölejikleri, şol sanda gaz ionlaryny, atom ionlaryny, işjeň toparlary we ş.m. almak üçin tolgunýarlar.
Gyzgyn sim arkasy PECVD enjamynda örtük otagynyň daşynda iki sany elektromagnit rulon oturdylýar, bu anod tarap hereket wagtynda ýokary dykyzlykly elektron akymynyň aýlanmagyna sebäp bolup, elektron akymy bilen reaksiýa gazynyň arasynda çaknyşmak we ionlaşma ähtimallygyny ýokarlandyrýar. .Elektromagnit rulon, tutuş depozit kamerasynyň plazma dykyzlygyny ýokarlandyrmak üçin ark sütünine öwrülip biler.Ark plazmasynda bu işjeň bölejikleriň dykyzlygy ýokary bolup, göwher filmleri we beýleki film gatlaklaryny iş bölegine goýmagy aňsatlaşdyrýar.
—— Bu makala Guangdong Zhenhua Technology, aoptiki örtük maşynlaryny öndüriji.
Iş wagty: Maý-05-2023