قىزىق سىم ياي كۈچەيتىلگەن پلازما خىمىيىلىك پارغا چۆكتۈرۈش تېخنىكىسى قىزىق سىم ياي مىلتىقىنى ئىشلىتىپ ياي پلازمىسىنى چىقىرىدۇ، قىسقارتىلمىسى قىزىق سىم ياي PECVD تېخنىكىسى دەپ ئاتىلىدۇ. بۇ تېخنىكا قىزىق سىم ياي مىلتىقى ئىئون قاپلاش تېخنىكىسىغا ئوخشايدۇ، ئەمما پەرقى شۇكى، قىزىق سىم ياي مىلتىقى ئىئون قاپلاش ئارقىلىق قولغا كەلتۈرۈلگەن قاتتىق پەردە قىزىق سىم ياي مىلتىقى چىقارغان ياي نۇرى ئېلېكترون ئېقىمىنى ئىشلىتىپ، مېتالنى قىزىتىدۇ ۋە پارغا ئايلاندۇرىدۇ، قىزىق سىم ياي نۇرى PECVD بولسا ئالماس پەردىسىنى قاپلاش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدىغان CH4 ۋە H2 قاتارلىق رېئاكسىيە گازلىرى بىلەن تەمىنلىنىدۇ. قىزىق سىم ياي مىلتىقى چىقارغان يۇقىرى زىچلىقتىكى ياي قويۇپ بېرىش توكىغا تايىنىپ، رېئاكتىپ گاز ئىئونلىرى گاز ئىئونلىرى، ئاتوم ئىئونلىرى، ئاكتىپ گۇرۇپپىلار قاتارلىق ھەر خىل ئاكتىپ زەررىچىلەرنى ھاسىل قىلىش ئۈچۈن قوزغىلىدۇ.
ئىسسىق سىملىق ياي PECVD ئۈسكۈنىسىدە، قاپلاش ئۆيىنىڭ سىرتىغا ئىككى ئېلېكترو ماگنىتلىق چەمبەر ئورنىتىلغان بولۇپ، بۇ يۇقىرى زىچلىقتىكى ئېلېكترون ئېقىمىنىڭ ئانودقا قاراپ ھەرىكەتلىنىشى جەريانىدا ئايلىنىشىغا سەۋەب بولىدۇ، بۇ ئېلېكترون ئېقىمى بىلەن رېئاكسىيە گازى ئوتتۇرىسىدىكى سوقۇلۇش ۋە ئىئونلىشىش ئېھتىماللىقىنى ئاشۇرىدۇ. ئېلېكترو ماگنىتلىق چەمبەر يەنە پۈتۈن چۆكمە كامېراسىنىڭ پلازما زىچلىقىنى ئاشۇرۇش ئۈچۈن ياي تۈۋرۈكىگە يىغىلىدۇ. ياي پلازمىسىدا، بۇ ئاكتىپ زەررىچىلەرنىڭ زىچلىقى يۇقىرى بولۇپ، ئالماس پىلاستىنكىسى ۋە باشقا پىلاستىنكا قەۋەتلىرىنى ئىشلەنگەن بۇيۇمغا چۆكۈرۈشنى ئاسانلاشتۇرىدۇ.
——بۇ ماقالە گۇاڭدۇڭ جېنخۇا تېخنىكا شىركىتى تەرىپىدىن ئېلان قىلىندىئوپتىكىلىق قاپلاش ماشىنىلىرى ئىشلەپچىقارغۇچى.
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2023-يىلى 5-ماي