Teknologjia e avancuar e depozitimit të avullit kimik të plazmës me hark me tela të nxehtë përdor armën me hark me tela të nxehtë për të emetuar plazmën e harkut, shkurtuar si teknologjia PECVD e harkut të nxehtë të telit.Kjo teknologji është e ngjashme me teknologjinë e veshjes së joneve me armë me hark me tela të nxehtë, por ndryshimi është se filmi i ngurtë i marrë nga veshja e joneve me armë me hark teli të nxehtë përdor rrjedhën e elektronit të dritës së harkut të emetuar nga arma e harkut me tela të nxehtë për të ngrohur dhe avulluar metalin në Crucible, ndërsa drita me hark me tela të nxehtë PECVD ushqehet me gazra reaksioni, si CH4 dhe H2, të cilët përdoren për depozitimin e filmave të diamantit.Duke u mbështetur në rrymën e shkarkimit të harkut me densitet të lartë të emetuar nga arma e harkut me tela të nxehtë, jonet e gazit reaktiv eksitohen për të marrë grimca të ndryshme aktive, duke përfshirë jonet e gazit, jonet atomike, grupet aktive, etj.
Në pajisjen PECVD me hark teli të nxehtë, dy mbështjellje elektromagnetike janë ende të instaluara jashtë dhomës së veshjes, duke bërë që rrjedha e elektroneve me densitet të lartë të rrotullohet gjatë lëvizjes drejt anodës, duke rritur probabilitetin e përplasjes dhe jonizimit midis rrjedhës së elektronit dhe gazit të reaksionit. .Bobina elektromagnetike gjithashtu mund të konvergojë në një kolonë harku për të rritur densitetin e plazmës së të gjithë dhomës së depozitimit.Në plazmën e harkut, dendësia e këtyre grimcave aktive është e lartë, duke e bërë më të lehtë depozitimin e filmave të diamantit dhe shtresave të tjera të filmit në pjesën e punës.
——Ky artikull u publikua nga Guangdong Zhenhua Technology, aprodhues i makinerive të veshjes optike.
Koha e postimit: Maj-05-2023