Tiknoolajiyadda kaydinta uumiga kiimikada ee balaasmaha ee la xoojiyay ee fiilada kulul waxay isticmaashaa qoriga fiilada kulul si ay u soo saarto balaasmaha fiilada, oo loo soo gaabiyo tiknoolajiyada fiilada kulul ee PECVD. Tiknoolajiyaddani waxay la mid tahay tiknoolajiyadda dahaarka fiilada kulul ee fiilada kulul, laakiin farqiga ayaa ah in filimka adag ee laga helo dahaarka fiilada kulul uu isticmaalo socodka elektarooniga iftiinka arc ee uu soo saaro qoriga fiilada kulul si uu u kululeeyo oo uumi bixiyo birta ku jirta weelka, halka iftiinka fiilada kulul ee PECVD lagu quudiyo gaasaska falcelinta, sida CH4 iyo H2, kuwaas oo loo isticmaalo dhigista filimada dheemanka. Iyagoo ku tiirsan hadda dheecaanka fiilada cufnaanta sare leh ee uu soo saaro qoriga fiilada kulul, ion-yada gaaska falcelinta leh waxay ku faraxsan yihiin inay helaan walxo firfircoon oo kala duwan, oo ay ku jiraan ion-yada gaaska, ion-yada atomiga, kooxaha firfircoon, iwm.
Qalabka PECVD ee fiilada kulul, laba gariirad oo elektromagnetic ah ayaa wali lagu rakibay meel ka baxsan qolka dahaarka, taasoo keenta in socodka elektarooniga cufnaanta sare uu wareego inta lagu jiro dhaqdhaqaaqa u socda anode-ka, taasoo kordhinaysa suurtagalnimada isku dhaca iyo ionization-ka u dhexeeya socodka elektarooniga iyo gaaska falcelinta. Xidhmada elektromagnetic-ka ayaa sidoo kale isku dari karta tiir qaanso si loo kordhiyo cufnaanta balaasmaha ee qolka kaydka oo dhan. Balasma-da qaanso, cufnaanta walxahan firfircoon ayaa sarreeya, taasoo sahlaysa in filimada dheemanka iyo lakabyada kale ee filimka lagu shubo shaqada.
——Maqaalkan waxaa soo saartay shirkadda Guangdong Zhenhua Technology, oo ah shirkadsoo saaraha mashiinnada dahaarka indhaha.
Waqtiga boostada: Maajo-05-2023