Ìmọ̀ ẹ̀rọ ìdènà kẹ́míkà plasma tí a mú kí ó gbóná tí a fi ń lo ìbọn arc hot wire láti tú plasma arc jáde, èyí tí a ké sí ní PECVD hot wire arc. Ìmọ̀ ẹ̀rọ yìí jọ ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbòrí ion gun wire hot wire, ṣùgbọ́n ìyàtọ̀ náà ni pé fíìmù líle tí a fi ìbòrí ion gun wire hot way ṣe, ń lo ìṣàn arc light electron tí ìbọn arc hot way ti tú jáde láti mú kí irin náà gbóná kí ó sì tú jáde nínú crucible, nígbà tí iná arc waya hot way PECVD ń fún àwọn gáàsì reaction, bíi CH4 àti H2, tí a ń lò fún fífi àwọn fíìmù diamond síta. Nípa gbígbára lé ìṣàn arc thickness arc tí ìbọn arc hot way ti tú jáde, àwọn ion gaasi reactive náà ń yọ̀ láti gba onírúurú pàtákì tí ń ṣiṣẹ́, títí bí àwọn ion gaasi, àwọn ion atomiki, àwọn ẹgbẹ́ active, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Nínú ẹ̀rọ PECVD oníná gbóná, àwọn ìkọ́ oníná gbóná méjì ṣì wà ní ìta yàrá ìbòrí, èyí tí ó ń mú kí ìṣàn elekitironi gíga máa yípo nígbà tí a bá ń lọ sí anode, èyí sì ń mú kí ó ṣeéṣe kí ìkọlù àti ìṣàn ionization láàrín ìṣàn elekitironi àti gaasi ìhùwàpadà pọ̀ sí i. Ìkọ́ oníná gbóná náà tún lè para pọ̀ di ọ̀wọ̀n arc láti mú kí ìwọ̀n plasma ti gbogbo yàrá ìpamọ́ pọ̀ sí i. Nínú plasma arc, ìwọ̀n àwọn èròjà tí ń ṣiṣẹ́ wọ̀nyí ga, èyí tí ó mú kí ó rọrùn láti fi àwọn fíìmù diamond àti àwọn fẹlẹfẹlẹ fíìmù mìíràn sí orí iṣẹ́ náà.
——Gangdong Zhenhua Technology ló gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde,olùpèsè àwọn ẹ̀rọ ìbòrí opitika.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-05-2023