ʻO ka ʻenehana hoʻokaʻawale mahu kemika plasma i hoʻonui ʻia e ka uea wela

ʻO ka ʻenehana hoʻokaʻawale mahu kemika plasma hoʻonui uea wela e hoʻohana ana i ka pū uea wela e hoʻokuʻu i ka plasma uea wela, i hoʻopōkole ʻia ʻo ka ʻenehana PECVD uea wela. Ua like kēia ʻenehana me ka ʻenehana uhi ion pū uea wela, akā ʻo ka ʻokoʻa, ʻo ka ʻili paʻa i loaʻa e ka uhi ion pū uea wela e hoʻohana ana i ke kahe uila arc light i hoʻopuka ʻia e ka pū uea wela e hoʻomehana a hoʻoheheʻe i ka metala i loko o ka ipu hoʻoheheʻe, ʻoiai ʻo ka PECVD uea wela e hānai ʻia me nā kinoea hopena, e like me CH4 a me H2, i hoʻohana ʻia no ka waiho ʻana i nā kiʻiʻoniʻoni daimana. Ma ka hilinaʻi ʻana i ke au hoʻokuʻu arc kiʻekiʻe i hoʻopuka ʻia e ka pū uea wela, ua hauʻoli nā ion kinoea reactive e loaʻa nā ʻāpana hana like ʻole, me nā ion kinoea, nā ion atomika, nā hui hana, a pēlā aku.

I loko o ka hāmeʻa PECVD arc uea wela, ua hoʻokomo ʻia ʻelua mau wili electromagnetic ma waho o ka lumi uhi, e hoʻoulu ana i ke kahe electron kiʻekiʻe e wili i ka wā o ka neʻe ʻana i ka anode, e hoʻonui ana i ka hiki ke kuʻi a me ka ionization ma waena o ke kahe electron a me ke kinoea hopena. Hiki i ka wili electromagnetic ke hui pū i loko o kahi kolamu arc e hoʻonui i ka nui o ka plasma o ke keʻena waiho holoʻokoʻa. I loko o ka plasma arc, kiʻekiʻe ka nui o kēia mau ʻāpana hana, e maʻalahi ai ke waiho ʻana i nā kiʻiʻoniʻoni daimana a me nā papa kiʻiʻoniʻoni ʻē aʻe ma ka workpiece.

——Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala e Guangdong Zhenhua Technology, hemea hana o nā mīkini uhi optical.