Hoʻohana ʻia ka ʻenehana hoʻoheheʻe wai wela wela i ka plasma arc no ka hoʻokuʻu ʻana i ka plasma arc, i hoʻopau ʻia e like me ka ʻenehana PECVD uea wela.Ua like kēia ʻenehana me ka ʻenehana hoʻopaʻa ʻana i ka uea wela arc gun, akā ʻo ka ʻokoʻa, ʻo ke kiʻi paʻa i loaʻa e ka uea wela arc gun ion coating e hoʻohana ana i ke kahe electron māmā arc i hoʻokuʻu ʻia e ka pū uea wela e wela a e hoʻoheheʻe i ka metala i loko. ka crucible, oiai ka uea wela arc kukui PECVD ua hānai 'ia me ka hopena kinoea, e like me CH4 a me H2, i hoʻohana 'ia no ka waiho daimana films.Ma ka hilinaʻi ʻana i ke kiʻekiʻe kiʻekiʻe kiʻekiʻe o ka hoʻokuʻu ʻana i kēia manawa e ka pu ahi uea wela, ua hauʻoli nā kinoea reactive i ka loaʻa ʻana o nā mea ʻeleʻele like ʻole, e like me ke kinoea ion, atomic ion, hui hana, a pēlā aku.
Ma ka uea wela arc PECVD, ua hoʻokomo ʻia ʻelua coils electromagnetic ma waho o ke keʻena uhi, e hoʻohuli i ke kahe electron kiʻekiʻe i ka wā o ka neʻe ʻana i ka anode, e hoʻonui ana i ka likelika o ka hui ʻana a me ka ionization ma waena o ke kahe electron a me ke kinoea hopena. .Hiki i ka electromagnetic coil ke hoʻohuli i loko o kahi kolamu arc e hoʻonui i ka density plasma o ke keʻena deposition holoʻokoʻa.I loko o ka plasma arc, he kiʻekiʻe ka nui o kēia mau mea ikaika, e maʻalahi ka waiho ʻana i nā kiʻi daimana a me nā papa kiʻiʻoniʻoni ʻē aʻe ma ka mea hana.
——Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala e Guangdong Zhenhua Technology, aka mea hana i nā mīkini hoʻopili optical.
Ka manawa hoʻouna: Mei-05-2023