Кайнар чыбык дугасы белән көчәйтелгән плазма химик пар чыгару технологиясе кайнар чыбык дуга пистолетын дуга плазмасы чыгару өчен куллана, кыскартылган рәвештә кайнар чыбык дугасы PECVD технологиясе дип атала. Бу технология кайнар чыбык дуга пистолетының ион каплау технологиясенә охшаш, ләкин аерма шунда ки, кайнар чыбык дуга пистолетының ион каплавы белән алынган каты пленка кайнар чыбык дуга пистолетыннан чыгарылган дуга яктылык электрон агымын кулланып, тигельдәге металлны җылыта һәм парга әйләндерә, ә кайнар чыбык дуга яктылык PECVDга CH4 һәм H2 кебек реакция газлары бирелә, алар алмаз пленкаларын урнаштыру өчен кулланыла. Кайнар чыбык дуга пистолетыннан чыгарылган югары тыгызлыктагы дуга разряд тогына таянып, реактив газ ионнары төрле актив кисәкчәләр, шул исәптән газ ионнары, атом ионнары, актив төркемнәр һ.б. алу өчен кузгала.
Кайнар чыбыклы дугалы PECVD җайланмасында каплау бүлмәсе тышында ике электромагнит спираль урнаштырылган, бу анодка таба хәрәкәт вакытында югары тыгызлыктагы электрон агымының әйләнүенә китерә, электрон агымы белән реакция газы арасында бәрелеш һәм ионлашу ихтималын арттыра. Электромагнит спираль шулай ук дуга баганасына җыела ала, бу бөтен утырту камерасының плазма тыгызлыгын арттыра. Дуга плазмасында бу актив кисәкчәләрнең тыгызлыгы югары, бу эш кисәгенә алмаз пленкаларын һәм башка пленка катламнарын урнаштыруны җиңеләйтә.
——Бу мәкалә Гуандун Чжэньхуа Технологиясе тарафыннан бастырылган,оптик каплау машиналары җитештерүчесе.
Бастырылган вакыты: 2023 елның 5 мае