Тэхналогія плазменна-хімічнага нанясення з дапамогай гарачай дроту з узмацненнем дугі выкарыстоўвае дугавы пісталет з гарачай дротам для выпраменьвання дугавой плазмы, скарочана тэхналогія PECVD з гарачай дротам.Гэтая тэхналогія падобная на тэхналогію нанясення іённага пакрыцця з дапамогай дугавой гарматы з гарачым дротам, але розніца ў тым, што цвёрдая плёнка, атрыманая пры нанясенні іённага пакрыцця з дапамогай дугавой гарматы з гарачым дротам, выкарыстоўвае струмень электронаў дугі, выпраменьваны дугавой гарматай з гарачым дротам, для нагрэву і выпарэння металу ў тыгель, у той час як дуга з гарачым дротам PECVD падаецца рэакцыйнымі газамі, такімі як CH4 і H2, якія выкарыстоўваюцца для нанясення алмазных плёнак.Абапіраючыся на ток дугавога разраду высокай шчыльнасці, які выпраменьвае дугавая гармата з гарачым дротам, рэактыўныя іёны газу ўзбуджаюцца для атрымання розных актыўных часціц, у тым ліку іонаў газу, атамных іёнаў, актыўных груп і гэтак далей.
У прыладзе PECVD з дугой з гарачай дротам дзве электрамагнітныя шпулькі па-ранейшаму ўстаноўлены па-за памяшканнем для нанясення пакрыццяў, што прымушае паток электронаў высокай шчыльнасці круціцца падчас руху да анода, павялічваючы верагоднасць сутыкнення і іянізацыі паміж патокам электронаў і рэакцыйным газам .Электрамагнітная шпулька таксама можа збліжацца ў слуп дугі, каб павялічыць шчыльнасць плазмы ва ўсёй камеры нанясення.У дугавой плазме шчыльнасць гэтых актыўных часціц высокая, што палягчае нанясенне алмазных плёнак і іншых слаёў плёнкі на нарыхтоўку.
——Гэты артыкул быў апублікаваны Guangdong Zhenhua Technology, aвытворца аптычных машын для нанясення пакрыццяў.
Час публікацыі: 05 мая 2023 г