ହଟ୍ ତାର ଆର୍ ବର୍ଦ୍ଧିତ ପ୍ଲାଜା ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଡିପୋଜିଟେସନ୍ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ହଟ୍ ତାର ଆର୍ ବନ୍ଧୁକ ବ୍ୟବହାର କରି ଆର୍ ପ୍ଲାଜମା ନିର୍ଗତ କରେ, ଯାହାକୁ ହଟ୍ ତାର ଆର୍ PECVD ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ଭାବରେ ସଂକ୍ଷିପ୍ତ କରାଯାଇଥାଏ |ଏହି ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ଗରମ ତାରର ଆର୍ ବନ୍ଧୁକ ଆୟନ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସହିତ ସମାନ, କିନ୍ତୁ ପାର୍ଥକ୍ୟ ହେଉଛି ଯେ ହଟ୍ ତାରର ଆର୍ ବନ୍ଧୁକ ଆୟନ ଆବରଣ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରାପ୍ତ କଠିନ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଧାତୁକୁ ଉତ୍ତାପ ଏବଂ ବାଷ୍ପୀଭୂତ କରିବା ପାଇଁ ହଟ୍ ତାର ଆର୍ ବନ୍ଧୁକ ଦ୍ୱାରା ନିର୍ଗତ ଆର୍ ଲାଇଟ୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ପ୍ରବାହକୁ ବ୍ୟବହାର କରିଥାଏ | କ୍ରୁସିବଲ୍, ଯେତେବେଳେ ଗରମ ତାରର ଆର୍କ ଲାଇଟ୍ PECVD ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ୍ ସହିତ ଖିଆଯାଏ, ଯେପରିକି CH4 ଏବଂ H2, ଯାହା ହୀରା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଜମା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |ଗରମ ତାର ଆର୍ ବନ୍ଧୁକ ଦ୍ୱାରା ନିର୍ଗତ ଉଚ୍ଚ-ସାନ୍ଦ୍ରତା ଆର୍କ ଡିସଚାର୍ଜ କରେଣ୍ଟ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରି ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଗ୍ୟାସ୍ ଆୟନ ଗ୍ୟାସ୍ ଆୟନ, ପରମାଣୁ ଆୟନ, ସକ୍ରିୟ ଗୋଷ୍ଠୀ ଇତ୍ୟାଦି ବିଭିନ୍ନ ସକ୍ରିୟ କଣିକା ପାଇବାକୁ ଉତ୍ସାହିତ |
ଗରମ ତାରର ଆର୍ PECVD ଉପକରଣରେ, ଦୁଇଟି ବ elect ଦ୍ୟୁତିକ ଚୁମ୍ବକୀୟ କୋଇଲ୍ ଆବରଣ କୋଠରୀ ବାହାରେ ସ୍ଥାପିତ ହୋଇଛି, ଯାହା ଉଚ୍ଚ-ସାନ୍ଦ୍ରତା ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ପ୍ରବାହକୁ ଆନାଡ ଆଡକୁ ଗତି କଲାବେଳେ ଘୂର୍ଣ୍ଣନ କରିଥାଏ ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ପ୍ରବାହ ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ୍ ମଧ୍ୟରେ ଧକ୍କା ହେବାର ସମ୍ଭାବନା ବ increasing ିଥାଏ | ।ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋମ୍ୟାଗ୍ନେଟିକ୍ କୋଇଲ୍ ସମଗ୍ର ଡିପୋଜିସନ ଚାମ୍ବରର ପ୍ଲାଜମା ସାନ୍ଦ୍ରତା ବ to ାଇବା ପାଇଁ ଏକ ଆର୍ ସ୍ତମ୍ଭରେ ପରିଣତ ହୋଇପାରେ |ଆର୍କ ପ୍ଲାଜାମାରେ, ଏହି ସକ୍ରିୟ କଣିକାର ଘନତା ଅଧିକ, ଯାହାକି ହୀରା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସ୍ତରଗୁଡ଼ିକୁ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରରେ ଜମା କରିବା ସହଜ କରିଥାଏ |
—— ଏହି ଆର୍ଟିକିଲ୍ ଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଥିଲା, aଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଆବରଣ ଯନ୍ତ୍ରର ନିର୍ମାତା |.
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମେ -05-2023 |