De hete draad boog verbeterde plasma chemische dampafzettingstechnologie maakt gebruik van het hete draad boogpistool om boogplasma uit te zenden, afgekort als de hete draad boog PECVD-technologie.Deze technologie is vergelijkbaar met de ionencoatingtechnologie van het hetedraadboogpistool, maar het verschil is dat de vaste film die wordt verkregen door de ionencoating van het hetedraadboogpistool, de booglichtelektronenstroom gebruikt die wordt uitgezonden door het hetedraadboogpistool om het metaal te verwarmen en te verdampen in de kroes, terwijl de hete draad booglicht PECVD wordt gevoed met reactiegassen, zoals CH4 en H2, die worden gebruikt voor het afzetten van diamantfilms.Door te vertrouwen op de boogontladingsstroom met hoge dichtheid die wordt uitgezonden door het hetedraadboogpistool, worden de reactieve gasionen geëxciteerd om verschillende actieve deeltjes te verkrijgen, waaronder gasionen, atomaire ionen, actieve groepen, enzovoort.
In het PECVD-apparaat met hete draadboog zijn nog steeds twee elektromagnetische spoelen geïnstalleerd buiten de coatingruimte, waardoor de elektronenstroom met hoge dichtheid roteert tijdens de beweging naar de anode, waardoor de kans op botsing en ionisatie tussen de elektronenstroom en het reactiegas toeneemt .De elektromagnetische spoel kan ook convergeren in een boogkolom om de plasmadichtheid van de gehele afzettingskamer te vergroten.In boogplasma is de dichtheid van deze actieve deeltjes hoog, waardoor het gemakkelijker wordt om diamantfilms en andere filmlagen op het werkstuk af te zetten.
——Dit artikel is uitgebracht door Guangdong Zhenhua Technology, afabrikant van optische coatingmachines.
Posttijd: 05-05-2023