ເທັກໂນໂລຢີການວາງໄອນ້ຳເຄມີ plasma ທີ່ມີການເພີ່ມຄວາມຮ້ອນດ້ວຍສາຍໄຟ hot wire arc ໃຊ້ປືນ hot wire arc ເພື່ອປ່ອຍ plasma arc, ເຊິ່ງຫຍໍ້ມາຈາກເທັກໂນໂລຢີ hot wire arc PECVD. ເທັກໂນໂລຢີນີ້ຄ້າຍຄືກັບເທັກໂນໂລຢີການເຄືອບໄອອອນປືນ hot wire arc, ແຕ່ຄວາມແຕກຕ່າງແມ່ນວ່າຟິມແຂງທີ່ໄດ້ຈາກການເຄືອບໄອອອນປືນ hot wire arc ໃຊ້ກະແສເອເລັກຕຣອນແສງ arc ທີ່ປ່ອຍອອກມາຈາກປືນ hot wire arc ເພື່ອໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ ແລະ ລະເຫີຍໂລຫະໃນ crucible, ໃນຂະນະທີ່ hot wire arc light PECVD ຈະຖືກປ້ອນດ້ວຍອາຍແກັສປະຕິກິລິຍາ, ເຊັ່ນ CH4 ແລະ H2, ເຊິ່ງໃຊ້ສຳລັບການວາງຟິມເພັດ. ໂດຍການອີງໃສ່ກະແສໄຟຟ້າ arc ຄວາມໜາແໜ້ນສູງທີ່ປ່ອຍອອກມາຈາກປືນ hot wire arc, ໄອອອນອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາຈະຖືກກະຕຸ້ນເພື່ອໃຫ້ໄດ້ອະນຸພາກທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວຕ່າງໆ, ລວມທັງໄອອອນອາຍແກັສ, ໄອອອນປະລໍາມະນູ, ກຸ່ມທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວ, ແລະອື່ນໆ.
ໃນອຸປະກອນ PECVD ທີ່ມີສາຍຮ້ອນ, ຂົດລວດແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າສອງອັນຍັງຕິດຕັ້ງຢູ່ນອກຫ້ອງເຄືອບ, ເຮັດໃຫ້ກະແສເອເລັກຕຣອນທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງໝູນວຽນໃນລະຫວ່າງການເຄື່ອນທີ່ໄປສູ່ຂົ້ວບວກ, ເພີ່ມຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງການປະທະກັນ ແລະ ການໄອອອນໄນເຊຊັນລະຫວ່າງກະແສເອເລັກຕຣອນ ແລະ ອາຍແກັສປະຕິກິລິຍາ. ຂົດລວດແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າຍັງສາມາດລວມເຂົ້າກັນເປັນຖັນໂຄ້ງເພື່ອເພີ່ມຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພລາສມາຂອງຫ້ອງວາງສະສົມທັງໝົດ. ໃນພລາສມາໂຄ້ງ, ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງອະນຸພາກທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນງ່າຍຕໍ່ການວາງຟິມເພັດ ແລະ ຊັ້ນຟິມອື່ນໆໃສ່ຊິ້ນວຽກ.
——ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍ Guangdong Zhenhua Technology, ເຊິ່ງເປັນຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບແສງ.
ເວລາໂພສ: ພຶດສະພາ-05-2023