हॉट वायर आर्क एन्हान्स्ड प्लाझ्मा केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन तंत्रज्ञान, ज्याला हॉट वायर आर्क पीईसीव्हीडी (PECVD) तंत्रज्ञान असे संक्षिप्त रूप आहे, आर्क प्लाझ्मा उत्सर्जित करण्यासाठी हॉट वायर आर्क गनचा वापर करते. हे तंत्रज्ञान हॉट वायर आर्क गन आयन कोटिंग तंत्रज्ञानासारखेच आहे, परंतु फरक असा आहे की, हॉट वायर आर्क गन आयन कोटिंगद्वारे मिळवलेल्या घन फिल्ममध्ये, क्रुसिबलमधील धातूला गरम करून त्याचे बाष्पीभवन करण्यासाठी हॉट वायर आर्क गनमधून उत्सर्जित होणाऱ्या आर्क लाईट इलेक्ट्रॉन प्रवाहाचा वापर केला जातो, तर हॉट वायर आर्क लाईट पीईसीव्हीडीमध्ये CH4 आणि H2 सारखे अभिक्रिया वायू पुरवले जातात, जे डायमंड फिल्म्स जमा करण्यासाठी वापरले जातात. हॉट वायर आर्क गनमधून उत्सर्जित होणाऱ्या उच्च-घनतेच्या आर्क डिस्चार्ज प्रवाहावर अवलंबून, अभिक्रियाशील वायू आयन उत्तेजित केले जातात, ज्यामुळे वायू आयन, अणू आयन, सक्रिय गट इत्यादींसह विविध सक्रिय कण मिळतात.
हॉट वायर आर्क पीईसीव्हीडी उपकरणामध्ये, कोटिंग रूमच्या बाहेर दोन इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक कॉइल्स बसवलेल्या असतात, ज्यामुळे उच्च-घनतेचा इलेक्ट्रॉन प्रवाह ॲनोडच्या दिशेने जाताना फिरतो आणि इलेक्ट्रॉन प्रवाह व अभिक्रिया वायू यांच्यातील टक्कर व आयनीकरणाची शक्यता वाढते. इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक कॉइल एकत्र येऊन एक आर्क स्तंभ तयार करू शकते, ज्यामुळे संपूर्ण डिपॉझिशन चेंबरची प्लाझ्मा घनता वाढते. आर्क प्लाझ्मामध्ये, या सक्रिय कणांची घनता जास्त असते, ज्यामुळे वर्कपीसवर डायमंड फिल्म्स आणि इतर फिल्मचे थर जमा करणे सोपे होते.
हा लेख ग्वांगडोंग झेनहुआ टेक्नॉलॉजीने प्रसिद्ध केला आहे,ऑप्टिकल कोटिंग मशीनचे उत्पादक.
पोस्ट करण्याची वेळ: मे-०५-२०२३