Халуун утсан нуман сайжруулсан плазмын химийн ууршуулах технологи нь халуун утсан нуман бууг ашиглан нуман плазм ялгаруулдаг бөгөөд үүнийг халуун утсан нуман PECVD технологи гэж товчилдог. Энэ технологи нь халуун утсан нуман бууны ионы бүрхүүлийн технологитой төстэй боловч ялгаа нь халуун утсан нуман бууны ионы бүрхүүлээр гаргаж авсан хатуу хальс нь халуун утсан нуман буунаас ялгарч буй нуман гэрлийн электрон урсгалыг ашиглан тигель дэх металлыг халааж, ууршуулдаг бол халуун утсан нуман гэрэл PECVD нь алмазан хальсыг хуримтлуулахад ашигладаг CH4 ба H2 зэрэг урвалын хийгээр тэжээгддэг. Халуун утсан нуман буунаас ялгардаг өндөр нягтралтай нуман цэнэглэх гүйдэлд тулгуурлан урвалд ордог хийн ионууд нь хийн ионууд, атомын ионууд, идэвхтэй бүлэг гэх мэт янз бүрийн идэвхтэй хэсгүүдийг гаргаж авахын тулд өдөөгддөг.
Халуун утсан нуман PECVD төхөөрөмжид бүрэх өрөөний гадна хоёр цахилгаан соронзон ороомог суурилуулсан хэвээр байгаа нь анод руу чиглэсэн хөдөлгөөний явцад өндөр нягтралтай электрон урсгалыг эргэлдүүлж, электрон урсгал болон урвалын хийн хоорондох мөргөлдөөн болон ионжилтын магадлалыг нэмэгдүүлдэг. Цахилгаан соронзон ороомог нь мөн нуман багана болж хувирч, бүхэл тунадасжуулалтын камерын плазмын нягтралыг нэмэгдүүлдэг. Нуман плазмд эдгээр идэвхтэй бөөмсийн нягтрал өндөр байдаг тул алмазан хальс болон бусад хальсан давхаргыг ажлын хэсэгт тунадасжуулахад хялбар болгодог.
——Энэ нийтлэлийг Гуандун Жэнхуа Технологи компани нийтэлсэноптик бүрэх машин үйлдвэрлэгч.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 5-р сарын 5