បច្ចេកវិទ្យាដាក់ចំហាយគីមីប្លាស្មាដែលបង្កើនដោយធ្នូក្តៅ

បច្ចេកវិទ្យាដាក់ចំហាយគីមីប្លាស្មាដែលបង្កើនដោយធ្នូក្តៅប្រើកាំភ្លើងធ្នូក្តៅដើម្បីបញ្ចេញប្លាស្មាធ្នូ ដែលហៅកាត់ថាបច្ចេកវិទ្យាធ្នូ PECVD ដែកក្តៅ។ បច្ចេកវិទ្យានេះគឺស្រដៀងគ្នាទៅនឹងបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងកាំភ្លើងធ្នូដែកក្តៅ ប៉ុន្តែភាពខុសគ្នាគឺថាខ្សែភាពយន្តរឹងដែលទទួលបានដោយថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងកាំភ្លើងធ្នូដែកក្តៅប្រើលំហូរអេឡិចត្រុងពន្លឺធ្នូដែលបញ្ចេញដោយកាំភ្លើងធ្នូដែកក្តៅដើម្បីកំដៅ និងហួតលោហៈនៅក្នុង cucible ខណៈពេលដែលពន្លឺធ្នូដែកក្តៅ PECVD ត្រូវបានផ្គត់ផ្គង់ដោយឧស្ម័នប្រតិកម្ម ដូចជា CH4 និង H2 ដែលត្រូវបានប្រើសម្រាប់ដាក់ខ្សែភាពយន្តពេជ្រ។ ដោយពឹងផ្អែកលើចរន្តបញ្ចេញធ្នូដង់ស៊ីតេខ្ពស់ដែលបញ្ចេញដោយកាំភ្លើងធ្នូដែកក្តៅ អ៊ីយ៉ុងឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្មត្រូវបានរំភើបដើម្បីទទួលបានភាគល្អិតសកម្មផ្សេងៗ រួមទាំងអ៊ីយ៉ុងឧស្ម័ន អ៊ីយ៉ុងអាតូម ក្រុមសកម្ម និងផ្សេងៗទៀត។

នៅក្នុងឧបករណ៍ PECVD ដោយប្រើខ្សែរក្តៅ របុំអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចពីរនៅតែត្រូវបានដំឡើងនៅខាងក្រៅបន្ទប់ថ្នាំកូត ដែលបណ្តាលឱ្យលំហូរអេឡិចត្រុងដង់ស៊ីតេខ្ពស់បង្វិលក្នុងអំឡុងពេលចលនាឆ្ពោះទៅរកអាណូត ដែលបង្កើនប្រូបាប៊ីលីតេនៃការប៉ះទង្គិច និងអ៊ីយ៉ូដរវាងលំហូរអេឡិចត្រុង និងឧស្ម័នប្រតិកម្ម។ របុំអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចក៏អាចបញ្ចូលគ្នាទៅជាជួរឈរធ្នូ ដើម្បីបង្កើនដង់ស៊ីតេប្លាស្មានៃបន្ទប់ដាក់លោហៈទាំងមូល។ នៅក្នុងប្លាស្មាធ្នូ ដង់ស៊ីតេនៃភាគល្អិតសកម្មទាំងនេះគឺខ្ពស់ ដែលធ្វើឱ្យវាកាន់តែងាយស្រួលក្នុងការដាក់ខ្សែភាពយន្តពេជ្រ និងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តផ្សេងទៀតនៅលើស្នាដៃ។

——អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុន Guangdong Zhenhua Technology ដែលជាក្រុមហ៊ុនមួយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតអុបទិក.