Технологияи ҷойгиркунии буғи плазмавии такмилёфтаи сими гарм аз таппончаи сими гарм барои партофтани плазмаи камон истифода мебарад, ки онро технологияи сими гарми камон PECVD ихтисор мекунад. Ин технология ба технологияи пӯшонидани ионии таппончаи сими гарми камон монанд аст, аммо фарқият дар он аст, ки плёнкаи сахте, ки тавассути пӯшонидани ионии таппончаи сими гарми камон ба даст оварда мешавад, ҷараёни электронҳои нури камонро, ки аз таппончаи сими гарми камон хориҷ мешавад, барои гарм кардан ва бухор кардани металл дар тигель истифода мебарад, дар ҳоле ки нури камони сими гарми PECVD бо газҳои реаксия, ба монанди CH4 ва H2, ки барои ҷойгиркунии плёнкаҳои алмос истифода мешаванд, таъмин карда мешавад. Бо такя ба ҷараёни холӣ кардани камони зичии баланд, ки аз таппончаи сими гарми камон хориҷ мешавад, ионҳои гази реактивӣ барои ба даст овардани зарраҳои гуногуни фаъол, аз ҷумла ионҳои газ, ионҳои атомӣ, гурӯҳҳои фаъол ва ғайра, ҳаяҷон пайдо мекунанд.
Дар дастгоҳи камони симии гарми PECVD, ду печи электромагнитӣ ҳанӯз ҳам дар беруни утоқи рӯйпӯшкунӣ насб карда шудаанд, ки боиси чарх задани ҷараёни электронҳои зичии баланд ҳангоми ҳаракат ба самти анод мегардад ва эҳтимолияти бархӯрд ва ионизатсия байни ҷараёни электрон ва гази реаксияро зиёд мекунад. Печи электромагнитӣ инчунин метавонад ба сутуни камон табдил ёбад, то зичии плазмаи тамоми камераи таҳшиншавиро зиёд кунад. Дар плазмаи камон, зичии ин зарраҳои фаъол баланд аст, ки таҳшин кардани плёнкаҳои алмосӣ ва дигар қабатҳои плёнкаро дар қисми корӣ осонтар мекунад.
——Ин мақола аз ҷониби Guangdong Zhenhua Technology нашр шудааст.истеҳсолкунандаи мошинҳои пӯшонидани оптикӣ.
Вақти нашр: 05-майи соли 2023