Технологияи таҳкими буғи кимиёвии плазмаи сими гарм барои баровардани плазмаи камон, ки ҳамчун технологияи сими гарми PECVD ихтисор карда мешавад, истифода мебарад.Ин технология ба технологияи пӯшонидани ионҳои ионҳои сими камон монанд аст, аммо фарқият дар он аст, ки плёнкаи сахте, ки бо пӯшиши ионҳои таппончаи камонӣ ба даст омадааст, ҷараёни электрони камонро, ки аз таппончаи камон сими гарм мебарорад, барои гарм кардан ва бухор кардани металл истифода мебарад. Тигель, дар ҳоле ки нури сими гарми камон PECVD бо газҳои реаксия, ба монанди CH4 ва H2, ки барои гузоштани плёнкаҳои алмос истифода мешаванд, ғизо дода мешавад.Бо такя ба ҷараёни разряди камонҳои зичии баланд, ки аз таппончаи камон гарм мебарорад, ионҳои реактивии газ барои ба даст овардани зарраҳои фаъол, аз ҷумла ионҳои газ, ионҳои атомӣ, гурӯҳҳои фаъол ва ғайра ҳаяҷон меоянд.
Дар дастгоҳи сими гарми PECVD ҳоло ҳам дар беруни утоқи пӯшиш ду печи электромагнитӣ насб карда шудааст, ки боиси гардиши ҷараёни электронии зичии баланд ҳангоми ҳаракат ба сӯи анод мегардад ва эҳтимолияти бархӯрд ва ионизатсияро байни ҷараёни электрон ва гази реаксия зиёд мекунад. .Гӯшти электромагнитӣ инчунин метавонад ба сутуни камон табдил ёбад, то зичии плазмаи тамоми камераи таҳшинкуниро зиёд кунад.Дар плазмаи камон зичии ин заррачахои фаъол баланд буда, ба порчаи кор андохтани плёнкахои алмос ва дигар кабатхои плёнкаро осон мегардонад.
——Ин маколаро аз тарафи Гуандун Чжэнхуа Технология, аистехсолкунан-даи машинахои оптикии рпуш.
Вақти фиристодан: 05-05-2023