Ыстық сым доғасымен күшейтілген плазмалық химиялық бу тұндыру технологиясы ыстық сым доғалы мылтық арқылы доғалы плазманы шығарады, бұл ыстық сым доғалы PECVD технологиясы деп аталады. Бұл технология ыстық сым доғалы мылтықтың иондық жабын технологиясына ұқсас, бірақ айырмашылығы - ыстық сым доғалы мылтықтың иондық жабыны арқылы алынған қатты қабықша ыстық сым доғалы мылтық шығаратын доғалы жарық электрон ағынын пайдаланып, тигельдегі металды қыздырады және буландырады, ал ыстық сым доғалы PECVD гауһар қабықшаларды тұндыру үшін қолданылатын CH4 және H2 сияқты реакциялық газдармен қоректенеді. Ыстық сым доғалы мылтық шығаратын жоғары тығыздықтағы доғалы разряд тогына сүйене отырып, реактивті газ иондары газ иондарын, атом иондарын, белсенді топтарын және т.б. қоса алғанда, әртүрлі белсенді бөлшектерді алу үшін қозады.
Ыстық сым доғалы PECVD құрылғысында екі электромагниттік катушка әлі де жабын бөлмесінің сыртында орнатылған, бұл анодқа қарай қозғалыс кезінде жоғары тығыздықтағы электрон ағынының айналуына әкеледі, бұл электрон ағыны мен реакция газы арасындағы соқтығысу мен иондану ықтималдығын арттырады. Электромагниттік катушка сонымен қатар бүкіл тұндыру камерасының плазма тығыздығын арттыру үшін доға бағанына жинала алады. Доға плазмасында бұл белсенді бөлшектердің тығыздығы жоғары, бұл гауһар қабықшалар мен басқа да қабықша қабаттарын дайындамаға түсіруді жеңілдетеді.
——Бұл мақаланы Guangdong Zhenhua Technology компаниясы жарияладыоптикалық жабын машиналарын өндіруші.
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 5 мамыр