ትኩስ የሽቦ ቅስት የተሻሻለ የፕላዝማ ኬሚካል ትነት ማስቀመጫ ቴክኖሎጂ

የሙቅ ሽቦ ቅስት የተሻሻለ የፕላዝማ ኬሚካል ትነት ማስቀመጫ ቴክኖሎጂ የሙቅ ሽቦ ቅስት ሽጉጥ በመጠቀም የሙቅ ሽቦ ቅስት PECVD ቴክኖሎጂ ተብሎ አጠር ተደርጎ የሚጠራ አርክ ፕላዝማ ያመነጫል። ይህ ቴክኖሎጂ ከሙቅ ሽቦ ቅስት ሽጉጥ አዮን ሽፋን ቴክኖሎጂ ጋር ተመሳሳይ ነው፣ ነገር ግን ልዩነቱ በሙቅ ሽቦ ቅስት ሽጉጥ አዮን ሽፋን የተገኘው ጠንካራ ፊልም በሙቅ ሽቦ ቅስት ሽጉጥ የሚወጣውን የአርክ ብርሃን ኤሌክትሮን ፍሰት በክሩሲብል ውስጥ ያለውን ብረት ለማሞቅ እና ለማትነን የሚጠቀም ሲሆን የሙቅ ሽቦ ቅስት ብርሃን PECVD ደግሞ የአልማዝ ፊልሞችን ለማስቀመጥ የሚያገለግሉ እንደ CH4 እና H2 ባሉ የምላሽ ጋዞች ይመገባል። በሙቅ ሽቦ ቅስት ሽጉጥ የሚወጣውን ከፍተኛ ጥግግት ያለው የአርክ ፈሳሽ ጅረት በመተማመን፣ ምላሽ ሰጪ የጋዝ አየኖች የጋዝ አየኖችን፣ የአቶሚክ አየኖችን፣ ንቁ ቡድኖችን ወዘተ ጨምሮ የተለያዩ ንቁ ቅንጣቶችን ለማግኘት ይጓጓሉ።

በሞቃት ሽቦ ቅስት PECVD መሳሪያ ውስጥ ሁለት የኤሌክትሮማግኔቲክ ኮይሎች አሁንም ከሽፋን ክፍሉ ውጭ ተጭነዋል፣ ይህም ወደ አኖድ በሚንቀሳቀስበት ጊዜ ከፍተኛ ጥግግት ያለው የኤሌክትሮን ፍሰት እንዲሽከረከር ያደርጋል፣ ይህም በኤሌክትሮን ፍሰት እና በምላሽ ጋዝ መካከል የመጋጨት እና የአዮኒዜሽን እድልን ይጨምራል። የኤሌክትሮማግኔቲክ ኮይሉ ወደ ቅስት አምድ በመዋሃድ የጠቅላላውን የማከማቻ ክፍል የፕላዝማ ጥግግት ይጨምራል። በአርክ ፕላዝማ ውስጥ፣ የእነዚህ ንቁ ቅንጣቶች ጥግግት ከፍተኛ ነው፣ ይህም የአልማዝ ፊልሞችን እና ሌሎች የፊልም ንብርብሮችን በስራ ቦታው ላይ ለማስቀመጥ ቀላል ያደርገዋል።

——ይህ ጽሑፍ የወጣው በጓንግዶንግ ዠንሁዋ ቴክኖሎጂ ነው።የኦፕቲካል ሽፋን ማሽኖች አምራች.