La tecnologia di deposizione chimica da fase vapore al plasma potenziata da arco a filo caldo utilizza un cannone ad arco a filo caldo per emettere plasma ad arco, abbreviata come tecnologia PECVD ad arco a filo caldo. Questa tecnologia è simile alla tecnologia di rivestimento ionico con cannone ad arco a filo caldo, ma la differenza è che il film solido ottenuto con il rivestimento ionico con cannone ad arco a filo caldo utilizza il flusso di elettroni della luce dell'arco emesso dal cannone ad arco a filo caldo per riscaldare ed evaporare il metallo nel crogiolo, mentre la tecnologia PECVD ad arco a filo caldo viene alimentata con gas di reazione, come CH4 e H2, utilizzati per depositare film di diamante. Sfruttando la corrente di scarica ad arco ad alta densità emessa dal cannone ad arco a filo caldo, gli ioni del gas reattivo vengono eccitati per ottenere varie particelle attive, tra cui ioni gassosi, ioni atomici, gruppi attivi e così via.
Nel dispositivo PECVD ad arco a filo caldo, due bobine elettromagnetiche sono installate all'esterno della camera di deposizione, provocando la rotazione del flusso di elettroni ad alta densità durante il movimento verso l'anodo, aumentando la probabilità di collisione e ionizzazione tra il flusso di elettroni e il gas di reazione. La bobina elettromagnetica può anche convergere in una colonna ad arco per aumentare la densità del plasma nell'intera camera di deposizione. Nel plasma ad arco, la densità di queste particelle attive è elevata, facilitando la deposizione di film di diamante e altri strati di film sul pezzo in lavorazione.
——Questo articolo è stato pubblicato da Guangdong Zhenhua Technology, unproduttore di macchine per rivestimenti ottici.
Data di pubblicazione: 5 maggio 2023