ஹாட் வயர் ஆர்க் மேம்படுத்தப்பட்ட பிளாஸ்மா இரசாயன நீராவி படிவு தொழில்நுட்பம், ஹாட் வயர் ஆர்க் பிஇசிவிடி தொழில்நுட்பம் என சுருக்கமாக வில் பிளாஸ்மாவை வெளியிட சூடான கம்பி ஆர்க் துப்பாக்கியைப் பயன்படுத்துகிறது.இந்த தொழில்நுட்பம் ஹாட் வயர் ஆர்க் கன் அயன் பூச்சு தொழில்நுட்பத்தைப் போன்றது, ஆனால் வித்தியாசம் என்னவென்றால், ஹாட் வயர் ஆர்க் கன் அயன் பூச்சு மூலம் பெறப்பட்ட திடப் படம், சூடான கம்பி ஆர்க் துப்பாக்கியால் வெளிப்படும் ஆர்க் லைட் எலக்ட்ரான் ஓட்டத்தைப் பயன்படுத்தி உலோகத்தை சூடாக்கி ஆவியாக்குகிறது. க்ரூசிபிள், அதே சமயம் சூடான கம்பி ஆர்க் லைட் PECVD ஆனது CH4 மற்றும் H2 போன்ற எதிர்வினை வாயுக்களால் ஊட்டப்படுகிறது, அவை வைரப் படங்களை வைப்பதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.சூடான கம்பி ஆர்க் துப்பாக்கியால் வெளிப்படும் உயர் அடர்த்தி வில் வெளியேற்ற மின்னோட்டத்தை நம்பி, எதிர்வினை வாயு அயனிகள் வாயு அயனிகள், அணு அயனிகள், செயலில் உள்ள குழுக்கள் மற்றும் பல செயலில் உள்ள துகள்களைப் பெற உற்சாகமடைகின்றன.
சூடான கம்பி வளைவு PECVD சாதனத்தில், பூச்சு அறைக்கு வெளியே இரண்டு மின்காந்த சுருள்கள் இன்னும் நிறுவப்பட்டுள்ளன, இதனால் அதிக அடர்த்தி எலக்ட்ரான் ஓட்டம் நேர்மின்முனையை நோக்கி நகரும் போது சுழலும், எலக்ட்ரான் ஓட்டத்திற்கும் எதிர்வினை வாயுவிற்கும் இடையே மோதல் மற்றும் அயனியாக்கம் நிகழ்தகவை அதிகரிக்கிறது. .முழு படிவு அறையின் பிளாஸ்மா அடர்த்தியை அதிகரிக்க மின்காந்த சுருள் ஒரு வில் நெடுவரிசையாக ஒன்றிணைகிறது.ஆர்க் பிளாஸ்மாவில், இந்த செயலில் உள்ள துகள்களின் அடர்த்தி அதிகமாக இருப்பதால், வைரப் படங்கள் மற்றும் பிற பட அடுக்குகளை பணிப்பொருளில் வைப்பதை எளிதாக்குகிறது.
——இந்தக் கட்டுரை குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா தொழில்நுட்பத்தால் வெளியிடப்பட்டது, ஏஆப்டிகல் பூச்சு இயந்திரங்களின் உற்பத்தியாளர்.
இடுகை நேரம்: மே-05-2023