Teknụzụ plasma nke e ji ígwè ọkụ eme ka ọ dị ọkụ na-eji egbe arc waya hot arc na-ewepụta plasma arc, nke a na-akpọ teknụzụ PECVD arc waya hot arc. Teknụzụ a yiri teknụzụ mkpuchi ion egbe hot waya, mana ihe dị iche bụ na ihe nkiri siri ike nke mkpuchi ion egbe hot waya nwetara na-eji mmiri elektrọn arc ọkụ nke egbe arc waya hot arc na-ewepụta iji kpoo ma gbapụ ígwè ahụ n'ime ihe mkpuchi ahụ, ebe ọkụ waya hot waya PECVD na-enye gas mmeghachi omume, dị ka CH4 na H2, nke a na-eji etinye ihe nkiri diamond. Site na ịdabere na ọkụ arc dị elu nke egbe arc waya hot arc na-ewepụta, ion gas reactive na-enwe obi ụtọ ịnweta ihe dị iche iche na-arụ ọrụ, gụnyere ion gas, ion atọm, otu ndị na-arụ ọrụ, na ndị ọzọ.
N'ime ngwaọrụ PECVD nke waya ọkụ, a ka na-etinye eriri eletriki abụọ n'èzí ụlọ mkpuchi ahụ, na-eme ka mmiri elektrọn dị elu na-agbagharị n'oge mmegharị gaa na anode, na-eme ka ohere nke nkwekọ na ionization dị n'etiti mmiri elektrọn na gas mmeghachi omume dịkwuo elu. Igwe eletriki nwekwara ike ịgbakọta na kọlụm arc iji mee ka njupụta plasma nke ụlọ nchekwa dum dịkwuo elu. Na plasma arc, njupụta nke ihe ndị a na-arụ ọrụ dị elu, na-eme ka ọ dịkwuo mfe itinye ihe nkiri diamond na oyi akwa ihe nkiri ndị ọzọ na workpiece.
——E bipụtara akụkọ a site na Guangdong Zhenhua Technology, aonye na-emepụta igwe mkpuchi anya.
Oge ozi: Mee-05-2023