Ukadaulo wowonjezera kutentha kwa plasma pogwiritsa ntchito mfuti ya arc ya waya wotentha umagwiritsa ntchito mfuti ya arc ya waya wotentha kutulutsa plasma ya arc, yomwe chidule chake ndi ukadaulo wa PECVD wa waya wotentha. Ukadaulo uwu ndi wofanana ndi ukadaulo wophimba ion wa wire arc gun, koma kusiyana kwake ndikuti filimu yolimba yomwe imapezeka pogwiritsa ntchito ion ya arc gun ya arc imagwiritsa ntchito njira ya electron yowunikira yomwe imatulutsidwa ndi mfuti ya arc ya waya wotentha kuti itenthetse ndikuwononga chitsulo chomwe chili mu crucible, pomwe PECVD ya kuwala kwa arc ya waya wotentha imapatsidwa mpweya wochitapo kanthu, monga CH4 ndi H2, zomwe zimagwiritsidwa ntchito poika mafilimu a diamondi. Podalira mphamvu ya arc yotulutsa mphamvu ya arc yochuluka yomwe imatulutsidwa ndi mfuti ya arc ya waya wotentha, ma ions a gasi othamanga amasangalala kupeza tinthu tambiri togwira ntchito, kuphatikiza ma ions a gasi, ma ions a atomiki, magulu ogwira ntchito, ndi zina zotero.
Mu chipangizo cha PECVD cha waya wotentha, ma coil awiri amagetsi amayikidwabe kunja kwa chipinda chophikira, zomwe zimapangitsa kuti kuyenda kwa ma elekitironi okwera kwambiri kuzungulire panthawi yopita ku anode, zomwe zimapangitsa kuti pakhale kugundana ndi ionization pakati pa kuyenda kwa ma elekitironi ndi mpweya wochitapo kanthu. Chophimba chamagetsi chimathanso kusonkhana kukhala mzere wa arc kuti chiwonjezere kuchuluka kwa plasma m'chipinda chonse chosungiramo. Mu arc plasma, kuchuluka kwa tinthu tomwe timagwira ntchito timeneti kumakhala kwakukulu, zomwe zimapangitsa kuti zikhale zosavuta kuyika mafilimu a diamondi ndi zigawo zina za filimu pa workpiece.
——Nkhani iyi yatulutsidwa ndi Guangdong Zhenhua Technology, awopanga makina opaka utoto.
Nthawi yotumizira: Meyi-05-2023